vacuum regulatorとは 意味・読み方・使い方

The device is provided with a reusable thoracic vacuum regulator and an ordinary disposable collection chamber.例文帳に追加

本発明の装置は、再使用できる胸腔真空レギュレーターと、普通の使い捨て収集容器と、を含む。 - 特許庁

The exhaust device P comprises an automatic pressure regulator 4 connected to the bottom of the treatment chamber 2 through an exhaust duct 3; a main vacuum pump 5 connected to the automatic pressure regulator 4; and the auxiliary vacuum pump 7 connected to the main vacuum pump 5 through a pipe 6.例文帳に追加

排気装置Ｐは、排気管路３を介して処理室２の底部に接続された自動圧力調節器４と、自動圧力調節器４に接続された主真空ポンプ５と、主真空ポンプ５に配管６を介して接続された補助真空ポンプ７とから構成されている。 - 特許庁

Gas is introduced into the vacuum treatment chamber 1, a value of a pressure regulator opening is constantly acquired when a pressure setting value is provided to a pressure regulator 5, and an evacuating ability anomaly of the vacuum treatment device is detected by a change in the value.例文帳に追加

真空処理室１内にガスを導入し、調圧弁５に対して圧力設定値を与えた時の、調圧弁開口度の値を常に取得し、その値の変化によって、真空処理装置の排気能力異常を検出する。 - 特許庁

The operating pressure of the regulator 43 and the threshold of the vacuum switch 42 are set based on the volume of the secondary side piping 12.例文帳に追加

レギュレータ４３の動作圧力及び真空スイッチ４２の閾値は、二次側配管１２の容積に基づいて設定される。 - 特許庁

The substrate holding apparatus is equipped with a chuck 2, a chuck base 3, a vacuum pump 4, a pressure regulator 5, and a pressure pump 6.例文帳に追加

本発明に係る基板保持装置は、チャック２、チャック台３、真空ポンプ４、圧力レギュレータ５、加圧ポンプ６を備えている。 - 特許庁

A vacuum electropneumatic regulator 1 comprises a booster 20 controlled to be opened and closed by pilot pressures outputted from two solenoid valves.例文帳に追加

真空用電空レギュレータ１は、２つの電磁弁から出力されるパイロット圧で開閉制御されるブースタ２０を備える。 - 特許庁

To provide a vacuum processing apparatus in which invasion of dust into a process chamber is prevented and the size of an automatic pressure regulator is made small.例文帳に追加

処理室へのゴミの混入を防ぎ、自動圧力調節器を小型化することができる真空処理装置を提供する。 - 特許庁

An air is supplied from an electro-vacuum regulator 21 to an air cylinder 16 to pressurize a semiconductor chip, and then, the air is rapidly exhausted from the air cylinder 16 via a rapid exhaust valve 30, and subsequently, air is supplied from an electro-vacuum regulator 22 to the air cylinder 16 to pressurize another semiconductor chip.例文帳に追加

電空レギュレータ２１からエアシリンダ１６にエアを供給して一の半導体チップを加圧した後、急速排気バルブ３０を介してエアシリンダ１６からエアを急速排気し、引き続き電空レギュレータ２２からエアシリンダ１６にエアを供給して他の半導体チップを加圧するようにした。 - 特許庁