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"Defect Classification"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 55件
To provide a flaw type classification boundary setting method in surface defect detection allowing even an operator without having a special technique to simply realize complicated defect classification, and enabling evaluation capable of remarkably reducing work and of rapidly responding to change of an operation state.例文帳に追加
特殊な技術をもたないオペレータでも簡便に複雑な欠陥分類が実現され、労力が大幅に削減されるとともに操業状態の変化に迅速に対応した評価が可能となるような表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法を提供する。 - 特許庁
In the scanning charged particle microscope designed for semiconductor tests and measurements, the use of an image after image restoration to perform a pattern size measurement, defect detection, and defect classification or the like enables the improvement of the precision of measurement and the rise in the precision of detection and classification of a defect.例文帳に追加
さらに、半導体検査および半導体計測用の走査型荷電粒子顕微鏡において、画像復元後の画像を用いてパターン寸法計測、欠陥検出、欠陥分類等に用いることにより、計測精度向上や欠陥検出、欠陥分類の高精度化を可能とした。 - 特許庁
Inspection conditions decided by at least the eyelectronic optical conditions in a charged particle source and an irradiating optical means are a plurality of different inspection conditions, and a defect classification means that classifies the defects of a sample using a plurality of defect information obtained by irradiating the sample under a plurality of inspection conditions is provided.例文帳に追加
少なくとも荷電粒子源と照射光学手段における電子光学条件によって決定される検査条件が複数の異なる検査条件であって、該複数の検査条件で試料を照射し得られた複数の欠陥情報を用いて、試料の欠陥を分類する欠陥分類手段を備える。 - 特許庁
In the system, image data obtained by photographing the bad place of a substrate determined to be defective by visual examination is stored in a memory medium as a work unit and the image stored in the memory medium is successively displayed on a monitor screen in a process separate from a visual examination process to perform only the input work of the defect classification data.例文帳に追加
目視検査で不良と判断された基板の不良箇所を撮影した画像データを、記憶媒体に作業単位に保存しておき、目視検査工程とは別工程で、記憶媒体に保存された画像を順にモニター画面に表示することにより不良区分の入力作業だけを行うことを特徴とする不良分類システム。 - 特許庁
This defect classification equipment is provided with an illuminating unit 101 for illuminating a light transmitting coating surface with illuminating lights whose wavelength is restricted, a CCD camera 104 for imaging the interfering image of the coating surface through a lens 103, and a PC 110 for calculating the radiant direction component quantity of the peripheral luminance gradient to each pixel in the pickup image and for classifying the defects based on the radiant direction component quantity.例文帳に追加
波長を制限した照明光により光透過性のあるコーティング表面を照明する照明器101と、レンズ103を通してコーティング表面の干渉像を撮像するCCDカメラ104と、撮像した画像内の各画素に対する周囲の輝度勾配の放射方向成分量を算出し、この放射方向成分量を基に欠陥を分類するPC110とを具備する。 - 特許庁
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