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"Defect Classification"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 55件
DEFECT CLASSIFICATION EQUIPMENT, DEFECT CLASSIFICATION METHOD, AND PROGRAM例文帳に追加
欠陥分類装置、欠陥分類方法およびプログラム - 特許庁
DEFECT CLASSIFICATION SYSTEM, IMAGE FORMING APPARATUS AND DEFECT CLASSIFICATION PROGRAM例文帳に追加
欠陥分類システム、画像形成装置および欠陥分類プログラム - 特許庁
DEFECT CLASSIFICATION DICTIONARY TEACHING APPARATUS例文帳に追加
欠陥分類辞書教示装置 - 特許庁
DEFECT CLASSIFICATION SYSTEM, DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, AND IMAGE PICKUP DEVICE例文帳に追加
欠陥分類システム及び欠陥分類装置及び画像撮像装置 - 特許庁
DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, DEFECT CLASSIFICATION METHOD, AND ITS COMPUTER PROGRAM例文帳に追加
欠陥分類装置、欠陥分類方法およびそのコンピュータ・プログラム - 特許庁
DEFECT IMAGE PROCESSING DEVICE, DEFECT IMAGE PROCESSING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEFECT CLASSIFICATION DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEFECT CLASSIFICATION METHOD例文帳に追加
欠陥画像処理装置、欠陥画像処理方法、半導体欠陥分類装置および半導体欠陥分類方法 - 特許庁
DEFECT CLASSIFICATION METHOD, ITS DEVICE, AND DEFECT INSPECTION DEVICE例文帳に追加
欠陥分類方法及びその装置並びに欠陥検査装置 - 特許庁
This condition is maintained at automatic defect classification time, after circuit pattern inspection.例文帳に追加
この状態は回路パターン検査後の自動欠陥分類時に維持される。 - 特許庁
This condition is maintained, when an automatic defect classification is performed after the circuit pattern inspection.例文帳に追加
この状態は回路パターン検査後の自動欠陥分類時に維持される。 - 特許庁
IMAGE DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, AND IMAGE DEFECT INSPECTION METHOD例文帳に追加
画像欠陥検査装置、欠陥分類装置及び画像欠陥検査方法 - 特許庁
DEFECT INSPECTION METHOD AND ITS SYSTEM, AND DEFECTIVE AREA DETECTION METHOD FOR AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION例文帳に追加
欠陥検査方法とその装置、及び欠陥の自動分類のための欠陥位置検出方法 - 特許庁
The defect identification and defect classification of each area are done using the selected parameter.例文帳に追加
そして、選択されたパラメータを用いて、各領域の欠陥識別と欠陥分類とを実施する。 - 特許庁
IMAGE DEFECT INSPECTION DEVICE, IMAGE DEFECT INSPECTION SYSTEM, DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, AND IMAGE DEFECT INSPECTION METHOD例文帳に追加
画像欠陥検査装置、画像欠陥検査システム、欠陥分類装置及び画像欠陥検査方法 - 特許庁
Then, the determination accuracy of the defect classification aggregate is not affected by the superiority or inferiority of the guessing ability of an operator, for example, in comparison with a method by which the operator guesses a defect and qualitatively or individually acquires and analyzes an aggregate characteristic value at each defect classification aggregate including the guessed defect classification.例文帳に追加
よって、例えば、オペレータが欠陥を推測し、推測した欠陥種別を含む欠陥種別集合毎に集合特徴値を定性的又は個別的に取得して解析する方法に比べて、欠陥種別集合の判別精度がオペレータの推測能力の優劣に影響を受けることがない。 - 特許庁
To provide a defect classification device for easily predicting a defect occurrence rate, based on defect inspection results.例文帳に追加
欠陥検査結果から不良発生率を容易に予測することが可能な欠陥分類装置を提供すること。 - 特許庁
Thereby, defect classification can be performed by such very simple retest as reading out contents of the memory cell region 6.例文帳に追加
これにより、メモリーセル領域6の内容を読み出すという非常に簡易な再検査で不良分類を行うことができる。 - 特許庁
To provide a system for defect classification capable of shortening the work time of the visual examination of a product determined to be defective by an automatic inspection machine in a manufacturing process of a color filter or the like and capable of efficiently performing the input work of defect classification data.例文帳に追加
カラーフィルタ等の製造工程において、自動検査機で不良と判定された製品についての目視検査の作業時間を短縮するとともに、不良区分情報の入力作業を効率良く行うことができる不良分類システムを提供する。 - 特許庁
Furthermore, in the scanning charged particle microscope for semiconductor test and semiconductor measurement, by using a pattern size measurement, defect detection, and defect classification or the like by using the image after image restoration, measurement precision improvement and high precision of defect detection and defect classification or the like become possible.例文帳に追加
さらに、半導体検査および半導体計測用の走査型荷電粒子顕微鏡において、画像復元後の画像を用いてパターン寸法計測、欠陥検出、欠陥分類等に用いることにより、計測精度向上や欠陥検出、欠陥分類の高精度化を可能とした。 - 特許庁
To provide a defect classification equipment for eliminating the need of any threshold at the time of extracting any defect, and for performing classification with high robustness to a threshold.例文帳に追加
欠陥抽出時の閾値が不要な、または閾値に対してロバスト性の高い分類を行うことが可能な欠陥分類装置を提供する。 - 特許庁
An image of the detected defect is supplied to a defect classification means (36), and the defect is classified based on the shape or the brightness distribution of the image of the defect.例文帳に追加
検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段(36)に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。 - 特許庁
A defect classification apparatus includes a feature amount extraction unit, a defect classification unit and a classification condition setting unit, the classification condition setting unit has a function for correspondingly teaching a feature amount of a defect and a class of accuracy and a function for designating the priority order of classification, and conditional setting is performed so as to improve an accuracy rate for the classification of high priority.例文帳に追加
特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 - 特許庁
Then, a parameter suitable for defect identification and defect classification to each of a plurality of these areas is selected from among a plurality of parameters prepared in advance.例文帳に追加
そして、これらの複数の各領域に対する欠陥識別及び欠陥分類に適したパラメータを、予め用意しておいた複数のパラメータのなかから選択する。 - 特許庁
It is thus possible to automate visual inspection of the wafer 2 to final defect classification, eliminate the need for inspection by visual observation (review), and substantially shortening the time required for inspection.例文帳に追加
このため、ウェハ2の外観検査を最終的な欠陥分類に至るまで自動化でき、目視検査(レビュー)が不要となり、検査時間を大幅に短縮できる。 - 特許庁
To provide a defect classification dictionary teaching apparatus for teaching a classification dictionary utilized when classifying defects mainly included in a semiconductor wafer and a liquid crystal panel.例文帳に追加
主に半導体ウェハ及び液晶パネルに含まれる欠陥を分類する際に利用する分類辞書を教示する欠陥分類辞書教示装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect classification system capable of reducing misclassification in defect sorts even when information necessary for defect sort judgment is increased and capable of achieving more accurate classification.例文帳に追加
欠陥種類判定に必要な情報が多くなったとしても欠陥種類の誤分類を低減し、より精度の高い分類が可能な欠陥分類システムを提供する。 - 特許庁
To provide a fault diagnosis system and a fault diagnosing method capable of quantitatively determining defect classification with high accuracy on the basis of a uniformly acquired defect characteristic value.例文帳に追加
画一的に取得した欠陥特徴値に基づいて欠陥種別を定量的かつ高精度で判定できる故障診断システム及び故障診断方法を提供する。 - 特許庁
To provide an electron beam device that can prevent damages to the device and can make compatible low aberration, high resolution or high S/N ratio, with easiness of defect classification by obtaining a three-dimensional SEM image.例文帳に追加
デバイス損傷を防止することが可能であり、低収差、高分解能若しくは高S/N比と、立体的なSEM像を得ることによる欠陥分類の容易さと、を両立させる。 - 特許庁
To provide an inspection method and apparatus having higher performances than conventional ones whereby the unintended kinds of defects including false informations can be removed from their inspection results and automatic-defect-classification (ADC) results.例文帳に追加
検査結果や自動欠陥分類(ADC)の結果から、虚報を含む目的としていない種類の欠陥を除去可能な、より高性能な検査方法及び検査装置を提供する。 - 特許庁
The defect classification means (36) includes first classification means (50) for identifying a defect image having a specific shape and second classification means (51) for identifying a punctate low-brightness defect image and a light-dark brightness defect image.例文帳に追加
欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第1の分類手段(50)と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第2の分類手段(51)とを有する。 - 特許庁
To reduce working time for defect classification necessary to discriminate a pixel in which the characteristic of a TFT (thin film transistor) is shifted and a defective pixel which shows the abnormality of external appearance in the defect inspecting method of a liquid crystal display element.例文帳に追加
液晶表示素子の欠陥検査方法において、TFTの特性がシフトした画素を外観異常を伴なう欠陥画素と分離できないことによる欠陥分類作業時間の低減を図る。 - 特許庁
The defect classification means includes: a first classification means (50) of identifying an image of the defect having a specific shape; and a second classification means (51) of identifying the image of a punctate low-brightness defect and an image of a light-dark brightness defect.例文帳に追加
欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第1の分類手段(50)と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第2の分類手段(51)とを有する。 - 特許庁
To provide a defect review device capable of continuing defect review even if one image processing device is failed, concerning a defect review device for executing defect review or defect classification by using a plurality of image processing devices.例文帳に追加
複数台の画像処理装置を用いて欠陥レビューないし欠陥分類を実行する欠陥レビュー装置において、1台の画像処理装置が故障しても欠陥レビューを継続可能な欠陥レビュー装置を実現する。 - 特許庁
Since the luminance profile is a property acquired by actually photographing the wafer 2 to be inspected and clearly shows the forms of defects, the reliability of defect classification is substantially improved, when compared with the case of comparison with a non-defective pattern.例文帳に追加
輝度プロファイルは、検査対象であるウェハ2外観を実際に撮像して得られる特性であり、欠陥の形態を明確に示すため、良品パターン等との比較による場合と比べて、欠陥分類の確実性が格段に増す。 - 特許庁
To provide a review apparatus positively, highly accurately and efficiently conducting automatic defect review (ADR) and automatic defect classification (ADC) by aligning defects detected in an upstream inspection apparatus in a short time, for the review apparatus.例文帳に追加
上流の検査装置で検出された欠陥を、レビュー装置に対して確実に、高精度に、しかも短時間にアライメントをして効率よく、詳細再検査(ADR)や欠陥分類(ADC)を行うことができるようにしたレビュー装置を提供する。 - 特許庁
A defect classification processing section 222 classifies the defects, by what a position of the defect is included in which region of the defined regions with regard to defect data 133 (233) sampled from the defects obtained at a defect-reviewing device 10.例文帳に追加
欠陥分類処理部222は、欠陥レビュー装置10で取得された欠陥からサンプリングしたサンプリング欠陥データ133(233)について、その欠陥の位置が前記定義された領域のどの領域に含まれるかによって、欠陥を分類する。 - 特許庁
A defect classification defining section 221 defines a region that classifies defects on a surface of the inspected device, by using layout design data corresponding to a layer formed on the inspected device and a layer formed in an upper layer or lower layer thereof.例文帳に追加
欠陥分類定義部221は、被検査デバイスにそのとき形成されているレイヤおよびその上層または下層に形成されたレイヤに対応するレイアウト設計データを用いて、被検査デバイスの表面に欠陥を分類する領域を定義する。 - 特許庁
To actualize a semiconductor memory evaluator for reducing the time for defect examination and defect analysis on semiconductor memories, by classifying test fail information on the semiconductor memories by segment to execute defect analysis and defect classification, and to actualize a defect analysis method which uses the same.例文帳に追加
半導体メモリのテストフェイル情報をセグメントごとに分類し、不良解析及び不良分類を実行して半導体メモリの不良調査及び不良解析時間を低減する半導体メモリ評価装置及びそれを用いた不良解析方法を実現する。 - 特許庁
Accordingly, the defect correction method of the defective part is generated based on the position information, characteristic information, defect classification, and substrate design information of the defective part so as to make the defect correction by operating a defective correction mechanism 4 based on the generated defect correction method.例文帳に追加
そして、欠陥部位の位置情報、特徴情報、欠陥種別及び基板設計情報に基づいて欠陥部位の欠陥修正方法を生成し、生成された欠陥修正方法に基づき欠陥修正機構4を動作させて欠陥修正を行う。 - 特許庁
To provide a defect classification system capable of performing classification similar to human judgement on defects such as resist coating irregularities, exposure failures, flaws, the adhesion of dust without having to register defect data in micro-inspections principally on semiconductor wafers and liquid crystal panels.例文帳に追加
主に半導体ウェハ及び液晶パネルのマクロ検査におけるレジストの塗付ムラや露光不良、キズ、塵埃の付着などの欠陥に関して、欠陥データの登録を必要とせず、より人間の判断に近い分類を可能にする欠陥分類装置を提供する。 - 特許庁
To provide a teacher data superior in the repeatability and the objectivity, and alleviate a load of an operator for creating the teacher data, concerning a method for creating the teacher data for automatically classifying defects in a substrate, a defect classification method using it, and an apparatus.例文帳に追加
基板の欠陥を自動的に分類するための教師データを作成する方法およびこれを用いた欠陥分類方法ならびに装置において、再現性、客観性に優れた教師データを提供するとともに、該教師データの作成におけるオペレータの負荷を軽減する。 - 特許庁
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