「burls」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

The burl plate 20 has a higher burl density in a peripheral portion than in a middle so that when a higher pressure differential is applied in the peripheral portion, compression of the burls in the peripheral portion is substantially identical to that in the medial portion.例文帳に追加

バール・プレート２０は、その周縁部で中央部よりも高いバール密度を有しており、それによって、より高い圧力差が周縁部に適用されたときでも、バールの圧縮が依然として中央部と実質的に同じになる。 - 特許庁

A burl plate for use in immersion lithography has a higher burl density in a peripheral portion than in a medial portion, so that even when a higher differential pressure is applied in the peripheral portion, the compression of the burls in the peripheral portion is substantially the same as in the medial portion.例文帳に追加

本願発明によれば、液浸リソグラフィで使用するためのバール・プレートであって、その周縁部で中央部よりも高いバール密度を有しており、それによって、より高い圧力差が周縁部に適用されたときでも、バールの圧縮が依然として中央部と実質的に同じになるバール・プレートが提供される。 - 特許庁

A catalyst comprising cobalt or a cobalt compound is supported on the surface of a substrate 11, and the substrate 11 is heat-treated in a range of 850-1,100°C in an oxidizing atmosphere and then heated in the mixed solution 15 of octanol and octanethiol, whereby a fibrous nanocarbon material 12 with burls are generated on the substrate 11.例文帳に追加

コバルト又はコバルト化合物からなる触媒を基体１１表面に担持し、基体１１を酸化雰囲気中で８５０℃以上１１００℃以下の範囲で熱処理した後、基体１１をオクタノールとオクタンチオールとの混合溶液１５中で加熱することにより、節を有するファイバー状のナノ炭素材料１２が基体１１に生成する。 - 特許庁

In the article support member constituted so that the article to be installed into a beam route of a radiation beam of a lithography device may be supported on the article support, this article support member includes a base plate 1 which is a primary material and a plurality of burls 5 which are the second material bonded to this base plate 1 that is this primary material.例文帳に追加

リソグラフィ装置の放射ビームのビーム経路中に設置されるべき物品を物品支持体上で支持するように構成されている物品支持部材であって、該物品支持部材が、第１材料であるベースプレート１と、該第１材料である該ベースプレート１に接着された第２材料である複数のこぶ部５とを含む。 - 特許庁

A method of manufacturing a substrate holder for use in a lithographic apparatus includes: providing a main body having a surface, and a plurality of burls projecting from the surface and having end surfaces to support a substrate; providing a carrier surface adjacent to the main body surface; and forming a conductive layer on at least a part of the main body surface and an integral part on at least a part of the carrier surface.例文帳に追加

リソグラフィ装置で使用する基板ホルダの製造方法であって、方法は、表面を有する本体と、表面から突出して基板を支持する端面を有する複数のバールとを提供することと、本体表面に隣接するキャリア表面を提供することと、本体表面上の少なくとも一部上に導電層を、キャリア表面の少なくとも一部上の一体部分を形成することとを含む。 - 特許庁