放射露光量の英語

プログラマブルアレイを用いたリソグラフィ装置において均一な放射線量で露光する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of exposure to an uniform radiation dose in a lithographic apparatus using a programmable array. - 特許庁

諸性能に優れ、且つ低露光量でも良好な形状のスペーサーが得られる感放射線性樹脂組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition excelling in various performances and providing a spacer of a proper shape, even with low exposure energy. - 特許庁

本発明は露光面へ直進光だけを放射することができる、小型で、構造が簡単で、容易に製造することができるとともに、発熱量を著しく低減させることができる露光機用光源装置を得るにある。例文帳に追加

To obtain a light source device for an exposure apparatus which can emit only straight beams to an exposure surface, is small in size with a simple structure, can be easily manufactured, and can significantly reduce the quantity of heat generation. - 特許庁

得られるパターン形状が良好であり、焦点深度に優れ、且つ液浸露光時に接触した水への溶出物の量が少ない液浸露光用感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a liquid immersion exposure resin of radiation sensitive composition which is good in pattern shape to be obtained, excellent in focus depth and small in the amount of elution during liquid immersion exposure. - 特許庁

得られるパターン形状が良好であり、焦点深度に優れ、且つ液浸露光時に接触した水への溶出物の量が少ない液浸露光用感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition for immersion exposure, the composition giving a preferable pattern shape and having an excellent depth-of-focus characteristic and a small amount of eluted material into water in contact with the composition during immersion exposure. - 特許庁

得られるパターン形状が良好で、焦点深度にも優れ且つ液浸露光時に接触する水への溶出物の量が少ない液浸露光用感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition for liquid immersion exposure which gives a good pattern profile, excels also in focal depth and ensures a small amount of materials eluting into water with which the composition contacts in liquid immersion exposure. - 特許庁

コントローラ（１３）は放射パルスのエネルギー及び走査速度の両方を基板に対する必要な露光量及び放射パルスの繰り返しレートに応じて制御する。例文帳に追加

A controller (13) controls both the energy of the radiation pulse and the scanning speed depending on the necessary amount of exposure light with respect to the substrate and a repeated rate of the radiation pulse. - 特許庁

感度が良好であることにより解像度に優れ、得られるパターン形状が良好であり、更に焦点深度余裕に優れ、かつ液浸露光時に接触した液浸露光用液体への溶出物量が少ない液浸露光用の感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation sensitive resin composition for liquid immersion exposure superior in sensitivity and hence resolution, having a satisfactory pattern shape to be obtained, superior margin in focus depth, and a little amount of eluted substance into liquid immersion liquid that is brought into contact therewith during liquid immersion exposure. - 特許庁