ふっ化珪素の英語

珪素とフッ化水素との反応で生成した四フッ化珪素ガス中に含有するリン、ヒ素を除去するため該四フッ化珪素ガスを珪素と接触させるに際し、３００〜８００℃の範囲で、（Ｖ／Ｑ）≧ｋの条件で珪素と該四フッ化珪素ガスを接触させる。例文帳に追加

When silicon tetrafluoride gas is brought into contact with silicon to remove phosphorus and arsenic contained in the silicon tetrafluoride produced by the reaction of hydrogen fluoride with silicon, the contact of the silicon tetrafluoride gas with silicon is performed at 300-800°C under a condition of (V/Q)≥k. - 特許庁

フッ素化珪素化合物の製造方法例文帳に追加

METHOD FOR PRODUCING SILICON FLUORIDE COMPOUND - 特許庁

高純度フッ化珪素とその製造方法例文帳に追加

HIGH PURITY SILICON FLUORIDE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME - 特許庁

撥水化剤としては、フッ素化合物や珪素化合物が好ましい。例文帳に追加

A fluorine compound and a silicon compound are desirable as the water repellent treatment agent. - 特許庁

簡便かつ効率の良い、フッ素化珪素化合物の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a ready and efficient method for producing a fluorinated silicon compound. - 特許庁

珪素とフッ化水素をで反応させて四フッ化珪素を製造するにおいて、四フッ化珪素を固化させた容器内に１０ｋＰａ以上の圧力のヘリウムガスを満たし、続いて該容器を１ｋＰａ以下の圧力まで排気する。例文帳に追加

When silicon tetrafluoride is produced by reacting silicon with hydrogen fluoride, a container in which silicon tetrafluoride has been solidified is filled with gaseous helium under ≥10 kPa pressure and then evacuated to ≤1 kPa pressure. - 特許庁

フッ素化合物と珪素化合物を含む被処理ガスを水または水溶液で湿式処理して珪素化合物の大部分を溶解除去する。例文帳に追加

A gas to-be-treated containing fluorine compounds and silicon compounds is wet-treated with water or an aqueous solution to dissolve and remove most of the silicon compounds. - 特許庁

半導体分野等を含め非常に応用の広い炭化珪素単結晶を得ること、及び、炭化珪素単結晶に三フッ化窒素プラズマを用いて平滑にできる炭化珪素単結晶のエッチング方法を提供する。例文帳に追加

To provide a silicon carbide single crystal of wide applications, including semiconductor category, and to provide the etching method of the silicon carbide single crystal, capable of smoothing with nitrogen trifluoride plasma on it. - 特許庁