ショット列の英語

また、各ショットのマーク特徴量を統計計算して「マーク特徴量のショット配列成分」を算出し、重ね合わせ検査の結果より更新した「各ショット配列成分の変換係数」を用いて、「ショット配列補正値のＷＩＳ予測量」を算出し、アライメント時のショット配列補正値を補正する。例文帳に追加

By calculating a "shot arrangement component of a mark feature quantity" by statistically calculating the mark feature quantities of respective shots, and using "conversion coefficients of the respective shot arrangement components" updated by the result of the superposition inspection, a "WIS predictive quantity of the shot arrangement correction value" is calculated, and a shot arrangement correction value in alignment is corrected. - 特許庁

対向する二列の端子列とアンダカットを含むコネクタを一回のショットで成形する。例文帳に追加

To form two opposing rows of terminals and a connector including undercut by one shot. - 特許庁

ＥＧＡの処理条件として、ショットＳ１〜Ｓ３２からサンプルショットに指定するショットの数と、サンプルショットの配置と、基板アライメントマークＰＡＭの変位モデルの算出に用いる回帰分析の次数とを、第１保持部２６上面の温度分布に基づいて決定し、ＥＧＡ処理を実行してショットＳ１〜Ｓ３２の配列を推定する。例文帳に追加

By determining the number of shots for assigning sample shots from shots S1 to S32, an array of the sample shots, degree of regression analysis used for calculation of a displacement model about a substrate alignment mark PAM based on a temperature distribution on upper surface of a first holding section 26, and by executing EGA processing, the array of the shots S1 to S32 is estimated. - 特許庁

内部回路５とＬＣフィルタ３の間にショットキーバリアダイオード２を並列に接続する。例文帳に追加

A Schottky barrier diode 2 is connected in parallel between an internal circuit 5 and the LC filter 3. - 特許庁

例えば、ショット配列を算出するのに適した計測条件を自動的に決定する。例文帳に追加

To determine the measurement conditions suitable for calculating a shot arrangement automatically. - 特許庁

基板テーブルＰＴの第１保持部２６上面の温度分布に基づいた条件で、ショットＳ１〜Ｓ３２の配列を求めることで、基板ＰのショットＳ１〜Ｓ３２の各ショットと、マスクＭのパターン像とを高精度に位置合わせする位置合わせ方法を提供する。例文帳に追加

To provide an alignment method for precisely aligning each one of shots S1 to S32 a substrate P with a pattern image of a mask M by obtaining an array of the shots S1 to S32 based on the condition of a temperature distribution on upper surface of a first holding section 26 of a substrate table PT. - 特許庁

コントローラは、所定数のショット毎に該所定数のショット内における実績値から得られる統計値、例えば前記所定数のショット内における実績値の最大値、最小値を時系列グラフにて前記表示部に表示させる。例文帳に追加

The controller allows the display part to display a statistical value obtained from the actual result values in a predetermined number of shots at every predetermined number of shots, for example, the maximum and minimum values of the actual result values in a predetermined number of the shots by the time series graph. - 特許庁

そして、上記の外内ショットを各々露光するときには、上で決定されたショットの配列に基づいて該ショットのマスクＲのパターン像との位置合わせが行われるとともに、座標位置の計測の際に検出された相対位置に基づいてウエハの面位置が調整される。例文帳に追加

Then, when each of the out-in shots is exposed, not only a mask R of the shot is aligned with a pattern image according to the determined alignment of the shots, but also a face position of the wafer is adjusted according to the relative position detected during the measurement of the coordinate position. - 特許庁