EGAとは 意味・読み方・使い方

In EGA optimization simulation, an alignment processing parameter is optimized through the use of the result of EGA simulation using the measurement result of the first wafer alignment (EGA measurement) and the result of EGA simulation using the measurement result of the second wafer alignment (EGA measurement) (steps S38, S39, S42, S43).例文帳に追加

ＥＧＡ最適化シミュレーションにおいて、１回目のウエハアライメント（ＥＧＡ計測）の計測結果を用いてのＥＧＡシミュレーションの結果と、２回目のウエハアライメント（ＥＧＡ計測）の計測結果を用いてのＥＧＡシミュレーションの結果と、を用いてアライメント処理パラメータが最適化される（ステップＳ３８、Ｓ３９、Ｓ４２，Ｓ４３）。 - 特許庁

In EGA optimization simulation, the alignment processing parameters are optimized while taking account of the linewidth variation of a pattern formed, using results of EGA simulation performed using measurement results of first time wafer alignment(EGA measurement), and results of EGA simulation performed using measurement results of second time wafer alignment(EGA measurement) (steps S38, S39, S42, S43).例文帳に追加

ＥＧＡ最適化シミュレーションにおいて、第１回目のウエハアライメント（ＥＧＡ計測）の計測結果を用いてのＥＧＡシミュレーションの結果と、第２回目のウエハアライメント（ＥＧＡ計測）の計測結果を用いてのＥＧＡシミュレーションの結果と、を用いて、形成されたパターンの線幅変動も考慮して、アライメント処理パラメータが最適化される（ステップＳ３８、Ｓ３９、Ｓ４２，Ｓ４３）。 - 特許庁

In the position measuring method of this invention, when wafer alignment is conducted for two search shots and eight EGA shots, the two search shots are made common with shot to EGA shot, and the same common mark of the alignment mark is used in the search measurement and the EGA measurement.例文帳に追加

本発明の位置計測方法では、２箇所のサーチショットと８箇所のＥＧＡショットを対象としてウエハアライメントを行う際に、２箇所のサーチショットはＥＧＡショットとの共用ショットとし、アライメントマークもサーチ計測とＥＧＡ計測とで同一の共用マークを用いる。 - 特許庁

His Misasagi (Imperial mausoleum) is on the hill of Mofushi at Ega in Kafuchi (Minamikawachi-gun, Osaka Prefecture).発音を聞く 例文帳に追加

御陵は川内（かふち）の恵賀の裳伏（もふし）の岡にあり（大阪府南河内郡）。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

In Nihonshoki, it is recorded as 'Nagano no Misasagi in Kawachi Province,' and in Kojiki, it is recorded that 'misasagi (Imperial mausoleum) is at Nagae in Ega of Kawachi.'発音を聞く 例文帳に追加

日本書紀に「河内国長野陵」、古事記には「御陵は河内の恵賀（えが）の長江にあり」とする。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

In the paragraph on Shoryoryo (the Bureau for managing imperial mausoleums) in "the Engishiki" (an ancient book for codes and procedures on national rites and prayers), there appears Ega no Mofushi no oka Mausoleum.発音を聞く 例文帳に追加

『延喜式』諸陵寮に恵我藻伏崗陵（えがのもふしのおかのみささぎ）。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

Takara and his troops saw that in the distance from Takayasu-no-ki Castle, and went down to the west of Ega-no-gawa River to fight against the Karakuni's troops.発音を聞く 例文帳に追加

財らは高安城からこの様子を遠望して、衛我河の西に出撃して戦った。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

that modify keyboard bindings and the EGA graphics table and employ the "user mapping" font table in the console driver.発音を聞く 例文帳に追加

このようなユーティリティを利用することにより、コンソールドライバにおけるキーボードと EGA グラフィックテーブルの割り当てを変更し、"ユーザ割り当て(user mapping)"フォントテーブルを使用することができる。 - JM