ステップカバレッジの英語

高アスペクト比のホール内に、良好なステップカバレッジを有する均一な膜厚の窒化シリコン層を形成する。例文帳に追加

To form a silicon nitride layer being excellent in step coverage and having a uniform film thickness in a high-aspect-ratio hole. - 特許庁

このように構成すれば、薄膜の均質度（膜厚の均一性等）を向上させるとともに、ステップカバレッジ特性を向上させることができる。例文帳に追加

Thus, the degree of homogeneity (uniformity of film thickness or the like) of the thin film can be improved, and further its step coverage properties can be improved. - 特許庁

スループットを低下させることなく、良好なステップカバレッジ及び良好な膜質を備えた容量絶縁膜を成膜する。例文帳に追加

To form a capacity insulating film provided with a good step coverage and good film quality without lowering throughput. - 特許庁

優れたトレンチ充填およびステップカバレッジを有するように銅膜をバリア金属上に形成する方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a method for forming a copper film on barrier metal so that excellent properties of trench filling and step coverage are provided. - 特許庁

ステップカバレッジに優れ、電気的特性の信頼性の高い、凹状構造のＢＳＴキャパシタを有するメモリ素子の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of a memory device having concave BST capacitors of which the step coverage is good and reliability in electrical characteristics is high. - 特許庁

バリアメタルのステップカバレッジを向上させるボーダレスコンタクト構造を有する半導体装置を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor device of borderless contact structure for improving the step-coverage of barrier metal. - 特許庁

本発明は膜厚の均一性、良好なステップカバレッジ及び高品質な膜を得る成膜方法を提供する。例文帳に追加

To provide a film depositing method capable of depositing a film which is uniform in film thickness, high in step coverage, and excellent in quality. - 特許庁

導電膜のステップカバレッジの不良によるボイドまたはシームの発生を防止できるゲート電極の形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of forming a gate electrode capable of preventing the generation of voids or seams due to the failure of the step coverage of a conductive film. - 特許庁