ローラの接触部で滑りやポッピングの発生がなく、安定したトルク伝達が可能なローラクラッチを提供することである。例文帳に追加

To provide a roller clutch capable of stably transmitting torque, without causing sliding and pumping in a contact part of a roller. - 特許庁

生産コストを上昇させることなく、ポッピングによるパーティクル汚染の防止と、ウエハ基板のダメージの低減を同時に達成する。例文帳に追加

To attain the prevention of particle contamination, caused by popping and the reduction of damage to a wafer substrate simultaneously without causing the production cost to rise. - 特許庁

レジスト除去工程において、ポッピングを抑制し、且つスループットの高い基板処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate treating method which suppresses popping and achieves high throughput in a resist removing process. - 特許庁

ポッピング現象を抑制することができるアッシング方法、アッシング装置、及び半導体装置の製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide an ashing method capable of suppressing a popping phenomenon, to provide an ashing apparatus, and to provide a method of manufacturing a semiconductor device. - 特許庁

レジスト膜をアッシングにより除去する際に、イオン注入による変質層のポッピングを防止できるとともに、半導体基板の酸化や掘れを抑制できる半導体装置の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing a semiconductor device capable of preventing popping of a layer altered by ion implantation when removing a resist film by ashing, and suppressing oxidation and a hollow of a semiconductor substrate. - 特許庁

このため、ポッピング現象を避けるように効率良く短時間で処理でき、また処理待ち時間のロスがなく、半導体製造工程のリードタイム短縮に多大の効果が得られる。例文帳に追加

Therefore, it can be processed efficiently in a short time, so that it can avoid popping phenomena, and also there is no loss of processing waiting time, and large effects can be obtained in shortening of the lead time of a semiconductor manufacture process. - 特許庁

このように、プラズマアッシング処理過程で、基板の温度を大気圧状態でしばらく降下させるので、フォトレジストの化学結合変化を減少させ、ポッピング及び残留物の発生を減少させ、製品の収率を向上させる。例文帳に追加

This allows chemical bonding change of the photoresist and the occurrence of popping and the residue to be decreased to enhance the yield of products since the temperature of the substrate is decreased in the state of atmospheric pressure by the plasma ashing processes for a while. - 特許庁

高濃度イオン注入後の硬化したレジスト膜を温度を上げて真空中でアッシング処理してもポッピング現象がなく、そのため飛散した変質層等の残渣の発生のない半導体集積回路装置の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a semiconductor integrated circuit device which performs ashing processing for a resist film which is cured after high concentration ion implantation under a vacuum at a higher temperature without a popping phenomenon, and therefore does not cause a scattered residue of a degeneration layer etc. - 特許庁

カム面１２を研削加工による研削面とし、その研削面の研削方向をローラ４の軸線と直交する方向として、カム面１２の摩擦係数を高め、ローラ４の接触部で滑りやポッピングの発生を防止し、安定したトルク伝達を可能にする。例文帳に追加

The cam surfaces 12 are formed as a grinding surface by grinding work, and the grinding direction of its grinding surface is set in the direction orthogonal to the axis of the roller 4, and a friction coefficient of the cam surfaces 12 is enhanced, and the occurrence of the sliding and pumping is prevented in the contact part of the roller 4, and the torque can be stably transmitted. - 特許庁

イオン注入処理等によって形成されたレジスト硬化膜７９を備えたウエハＷを、このレジスト硬化膜７９が所定温度の水蒸気に曝されるように処理することによってレジスト硬化膜７９にポッピングを生じさせる（ステップ４）。例文帳に追加

A wafer W is equipped with a resist cured film 79 formed through an ion implantation process, and the wafer W is subjected to processing so as to expose the resist cured film 79 to water vapor kept at a prescribed temperature, whereby the the resist cured film 79 is popped out (step 4). - 特許庁

ＭＲヘッドのノイズに対して測定効率がよくかつ測定精度を向上することができ、あるいはＭＲヘッドのノイズ、特に、その読出信号のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定きる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide a method for measuring the noise characteristics of a magnetic head of which the measurement efficiency of a MR head noise is good and the measurement accuracy can be improved or which can measure quantitatively the MR head noise, especially the pumping noise of a base line of the read-out signal and peak noise and to provide a measuring device. - 特許庁