ミクロ相分離パターンの英語

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Weblio専門用語対訳辞書での「ミクロ相分離パターン」の英訳

ミクロ相分離パターン

microphase-separated pattern

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「ミクロ相分離パターン」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 11件

例文

配向方向のそろったミクロ相分離構造膜を容易に、大面積で製造することができ、このミクロ相分離構造膜を用いてナノメートルスケールのパターンを形成することができるパターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a pattern formation method for easily manufacturing a micro phase separation structure film with aligned orientation directions by a large area, and forming a pattern of nanometer scale using the micro phase separation structure film. - 特許庁

耐熱性が高いミクロ相分離構造のパターンを形成するための感光性組成物を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a photosensitive composition for forming a highly heat-resistant pattern of a microphase separation structure. - 特許庁

高分子ブロック共重合体のミクロ相分離現象を用いて、柱状ミクロドメインが、膜の貫通方向に配向するとともに規則配列パターンを有する高分子薄膜を提供することを課題にする。例文帳に追加

To provide a polymeric thin film in which a microphase separation phenomenon of a polymeric block copolymer is used, thereby a pillar-shaped micro domain is oriented in the penetration direction of the film, and which has a regulated arrangement pattern. - 特許庁

高分子ブロック共重合体のミクロ相分離現象を用いて、柱状ミクロドメインが、膜の貫通方向に配向するとともに規則パターンの配列を有する微細構造体を提供することを課題にする。例文帳に追加

To provide a micro-structure with columnar micro-domains oriented in a penetrating direction of a membrane and having an array of regular patterns using a micro-phase separation phenomenon of a block copolymer. - 特許庁

回路パターンを有する透明または半透明の基板、特に位相シフト膜を有するレチクル等上に付着したサブミクロンオーダーの微細な異物を、光学的に簡単な構成で、容易に安定して回路パターンから分離して検出できる異物検査装置およびその方法を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus and method for inspecting foreign matter, capable of easily and stably separating the fine foreign matter of a micron order bonded to a transparent or translucent substrate having a circuit pattern, especially, a reticle having a phase shift film from the circuit pattern by optically simple constitution to detect the same. - 特許庁

また、ブロック鎖Ｂは、ガイドパターン７０２の表面への親和性が高く、ブロック共重合体薄膜７０３をミクロ相分離させた場合、ブロック鎖Ｂが選択的にガイドパターン７０２の表面に接触するものとする。例文帳に追加

The block chain B has high affinity to the surface of the guide pattern 702 and the block chain B is selectively brought into contact with the surface of the guide pattern 702 when the block copolymer thin film 703 is separated in micro phase. - 特許庁

例文

ブレンドポリマーの相分離を利用して、かなりの規則性をもったナノメーターからミクロンオーダーのパターンを簡便に形成できる方法を提供する。例文帳に追加

To easily form a pattern of nanometer to micron order having appreciable regularity by utilizing the phase separation of a blended polymer. - 特許庁

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「ミクロ相分離パターン」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 11件

例文

加熱処理によるブロック共重合体のミクロ相分離により、第１及び第２のガイドに従っていずれかのポリマーブロック鎖がパターンを形成する。例文帳に追加

Any one polymer block chain forms a pattern according to the first and second guides by microphase separation of the block copolymer caused by heat treatment. - 特許庁

液晶性ブロック共重合体のミクロ相分離構造が一軸水平配向したナノパターンを有する良好な品質の液晶性ブロック共重合体薄膜を、大面積でも簡便に安定して製造する。例文帳に追加

To manufacture a good-quality liquid crystalline block copolymer thin film in which the micro-phase separation structure of a liquid crystalline block copolymer has a uniaxially horizontally aligning nanopattern, simply and stably even if having a large area. - 特許庁

ポリスチレン誘導体とシルセスキオキサンを含むポリメタクリレート誘導体とを有するコポリマーを含有するパターン形成材料からなる膜を形成する工程と、前記膜中にミクロ相分離構造を形成する工程と、前記シルセスキオキサンを含むポリマー鎖の相をマスクとして前記基板をエッチングして前記基板にミクロ相分離構造のパターンを転写する工程とを具備したことを特徴とするパターン形成方法。例文帳に追加

A method for forming a pattern includes a step of forming a film which comprises a pattern forming material containing a copolymer having a polystyrene derivative and a polymethacrylate derivative containing silsesquioxane, a step of forming a microphase separation structure in the film, and a step of etching the substrate with a phase of a polymer chain containing the silsesquioxane as a mask and transferring a pattern of the microphase separation structure on the substrate. - 特許庁