ラーベックの英語

２００℃以下の温度雰囲気下においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。例文帳に追加

To provide an aluminum nitride-made electrostatic chuck capable of providing high suction force due to Johnson Rahbeck force in the atmosphere of 200°C or lower. - 特許庁

ジョンソン・ラーベック力を利用する静電チャックにおける過剰なリーク電流発生の抑制、吸着特性の長期維持、及び、基板の脱着応答性の向上を図る。例文帳に追加

To suppress the occurrence of excessive leak current in an electrostatic chuck using Johnson-Rahbeck force and maintain attraction characteristics, and improve desorption responsiveness in substrate. - 特許庁

本発明の課題は、大気雰囲気中の焼成により簡便に作製できるセラミック誘電体を備えた、耐プラズマ性が良好で、ジョンセン・ラーベック力を利用した吸着力の強い静電チャックを提供することである。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck which is provided with a ceramic dielectric capable of being easily fabricated by baking in the atmospheric environment and has high plasma resistance and uses Johnsen-Rahbeck force and has high adsorption force. - 特許庁

細いリング状の誘電体層領域１３ａ、ｂは、体積固有抵抗が低いセラミックスから構成されており、主にジョンセンラーベック力によりウエハを吸着する。例文帳に追加

Dielectric layer resistances 13a and 13b in the shape of thin rings are constituted of ceramics which are low in volume resistivity, and sucks a wafer mainly by Johnsen- Rahbeck force. - 特許庁

窒化アルミニウム質セラミックスを基材とするジョンソン−ラーベックタイプの静電チャックにおいて、脱着応答性の低下を防止し、これによって脱着応答性にバラツキが生ずるのを防止する。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck which employs aluminum nitride ceramics for a base material and works with Coulomb force, to prevent a dispersion of attraction responsibility by preventing its degradation. - 特許庁

２５０〜４５０℃の高温下で静電吸着用の電極より下側に存在するセラミック部の絶縁性を維持した状態で、ジョンソン・ラーベック効果による大きく吸着力を発現できる静電チャックを提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck which can exert a strong attracting force by utilizing a Johnson-Rahbeck effect, in a state where the insulating property of a ceramic section existing below an electrode for electrostatic attraction is maintained at a high temperature of 250-450°C. - 特許庁

クーロン型とジョンソン・ラーベック型の中間の体積抵抗率に調整することができ、しかも耐食性に優れた酸化アルミニウム焼結体を提供する。例文帳に追加

To provide an aluminum oxide sintered compact that can be adjusted to have a volume resistivity between that of a Coulomb type one and a Johnson-Rahbeck type one and has excellent corrosion resistance. - 特許庁

静電チャック１０は、ジョンソン・ラーベック力を利用する静電チャックであって、セラミックス層１３ａとセラミックス層１３ａ上に形成された樹脂層１３ｂとを備える誘電体層１３と、静電吸着力を発生させる電極１２ａ，１２ｂとを備える。例文帳に追加

The electrostatic chuck 10 is one using Johnson-Rahbeck force, and is provided with a dielectric layer 13 having a ceramic layer 13a and a resin layer 13b formed on the ceramic layer 13a and electrodes 12a, 12b that generate electrostatic attraction force. - 特許庁