Rahbekとは 意味・読み方・使い方

An electrically closed circuit 8, formed from the electrodes 3a and 3b, a dielectrics layer 2, a substrate 6, and a ground member 5 is applied with a Johnson-Rahbek current, so that the dielectrics layer 2 and the substrate 6 accumulate electric charges of polarities which are opposite to each other, generating a Johnson-Rahbek force.例文帳に追加

各電極３ａ，３ｂ、誘電体層２、基板６、接地部材５で形成される電気的閉回路８にジョンソン・ラーベック電流を流し、誘電体層２および基板６に互いに反対の極性の電荷を蓄積させてジョンソン・ラーベック力を発生させる。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck, capable of suppressing a Johnson-Rahbek effect to a minimum and further increasing the throughput of a substrate.例文帳に追加

ジョンソン−ラーベック効果を最小限に抑えることができ、基板のスループットをより大きくすることを可能にする静電チャックを提供する。 - 特許庁

These multi-resistivity layers establish a Johnsen-Rahbek effect for electrostatic chucking while not unduly compromising chuck strength or longevity.例文帳に追加

これらの多重固有抵抗層は、チャック強度または長寿命性を過度に犠牲にすることなく、静電チャッキングのためにジョンセンラーベック効果を確立する。 - 特許庁

In this medium conveying device, a suction platen 60 has a first electrode and a second electrode opposed to a conveying belt 53, and generates the suction force through a Johnson Rahbek force between the conveying belt 53 and paper P by applying voltage between the first and second electrodes.例文帳に追加

吸着プラテン６０は、搬送ベルト５３に対向する第１電極及び第２電極を有し、これらの間に電圧を印加することにより、搬送ベルト５３及び用紙Ｐ間にジョンセン・ラーベック力による吸着力を発生させる。 - 特許庁

To obtain an electrostatic chuck that can increase the plasma- resistance property of an electrostatic chuck base, without damaging attraction force by the Johnson-Rahbek effect, can suppress generation of impurity elements that become the contamination source for a body to be attracted and generation leakage current accompanying reduction of resistivity, and can be used over a wide temperature range.例文帳に追加

ジョンソンラーベック力による吸着力を損なうことなく、静電チャック基材の耐プラズマ性を高め、被吸着体に対して汚染源となる不純物元素の発生、及び、抵抗率の低下に伴うリーク電流の発生を抑制でき、幅広い温度範囲で使用できる静電チャックを提供する。 - 特許庁