位相シフト解析の英語

解析ユニットは、基板を走査して得られた画像データを利用して、位相シフト法により被検査面の高さを検査する。例文帳に追加

An analysis unit uses the image data obtained by scanning the board to inspect the height of the surface to be inspected by a phase shift method. - 特許庁

干渉縞の２次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、新たに位相接続処理を行なう対象画素に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連画素の位相情報のみを用いて行なう。例文帳に追加

In a phase unwrapping method in interference fringe analysis using a plurality of interference fringe images acquired by phase shifts through the use of an interferometer for acquiring two-dimensional images of interference fringes, phase unwrapping to target pixels to which phase unwrapping is to be newly performed is determined only by using phase information of related pixels to which phase unwrapping is already performed in images. - 特許庁

多波長干渉計の空間的位相シフト法において高速、かつ、低コストで空間キャリアの変調に対応できる干渉縞解析方法及び収差測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide an interference fringe analytical method and an aberration measuring method capable of coping quickly with modulation of a space carrier at low cost, in a spatial phase shift method for a multiwavelength interferometer. - 特許庁

複数の格子縞画像を解析し、位相シフト法を用いて、より高い精度の撮影光軸方向の変位量測定を行なうことが可能な３次元形状測定装置を提供する。例文帳に追加

To provide a three-dimensional shape measuring apparatus, capable of more precisely measuring an amount of displacement along a photographic optical axis direction, using a phase shift method, in which a plurality of lattice images are analyzed. - 特許庁

測定光源からの可干渉光を試料に向けて斜め方向から投光し、試料の表面と裏面での反射光により形成される干渉縞を、位相を変化させて取り込み、取り込んだ複数の干渉縞画像に基づいて位相シフト法によって試料の厚さむらを解析する。例文帳に追加

The coherence light from a measuring light source is projected obliquely on a sample and interference fringes generated with lights reflected by the top, and reverse surfaces of the sample are inputted while shifted in phase; and thickness unevenness of the sample is analyzed by a phase shift method according to interference fringe images which are inputted. - 特許庁

解析部５２は、位相シフト法により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部５１により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物９の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分を求める。例文帳に追加

The analysis section 52 determines the intensity component and phase component of second reflected light generated on the surface or in the interior of the observation object 9 on the basis of an interference light image obtained by setting an optical path length difference to be each target value successively by the phase shift method and photographing by the photographing section 51. - 特許庁