位相シフト干渉計の英語

このため、２波長位相シフト干渉法により計測レンジを拡大しつつ、その演算過程における縞次数誤りによる誤差の影響を少なくし、位相シフト干渉法本来の高い精度を維持することができる。例文帳に追加

As enlarging a measuring range by two-wavelength phase-shifting interferometry, it is therefore possible to reduce the effects of errors due to fringe order errors in its arithmetic processes and maintain original high accuracy in phase-shift interferometry. - 特許庁

シャリング干渉計（６，４４）により、位相シフトマスク（３）の横ずらし干渉画像を形成し、当該干渉画像を2次元撮像装置（１７，４８）により撮像する。例文帳に追加

A laterally offset interference image of a phase shift mask (3) is formed by a shearing interferometer (6, 44), and the interference image is captured by a two-dimensional imaging device (17, 48). - 特許庁

干渉縞の２次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、新たに位相接続処理を行なう対象画素に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連画素の位相情報のみを用いて行なう。例文帳に追加

In a phase unwrapping method in interference fringe analysis using a plurality of interference fringe images acquired by phase shifts through the use of an interferometer for acquiring two-dimensional images of interference fringes, phase unwrapping to target pixels to which phase unwrapping is to be newly performed is determined only by using phase information of related pixels to which phase unwrapping is already performed in images. - 特許庁

この波長非依存性により、この軸方向位相シフターを用いることで、低コヒーレンス干渉での位相シフト計測が可能になる。例文帳に追加

The phase shift in low-coherence interference can be measured by using the above phase shifter in the axial direction owing to the wavelength independent property. - 特許庁

位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。例文帳に追加

To provide a Fizeau interferometer properly measuring the form of a spherical surface to be measured even in the case where a phase shift method is used. - 特許庁

平面計測用位相シフト干渉計の光学的位相制御装置、光学的位相制御方法及び光学的位相制御プログラムを格納した記憶媒体例文帳に追加

OPTICAL PHASE CONTROLLER FOR PHASE SHIFT INTERFEROMETER FOR PLANE MEASUREMENT AND OPTICAL PHASE CONTROL METHOD FOR THE SAME, AND STORAGE MEDIUM WITH OPTICAL PHASE CONTROL PROGRAM - 特許庁

干渉計の光路差を正弦波状に高速変化させ、光路差が位相シフト法に必要な所定の位置となるタイミングで光源を発光して物体表面の干渉画像を取得する高精度な干渉計測装置を提供する。例文帳に追加

To provide a highly-accurate interference measuring device for changing at high speed an optical path difference of an interferometer into a sine wave shape, allowing a light source to emit light at a timing when the optical path difference is on a prescribed position necessary for a phase shift method, and acquiring an interference image of an object surface. - 特許庁

位相制御部は、第１の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を目標値に制御すると共に、第２の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を上記目標値からπだけシフトした値に制御する。例文帳に追加

A phase controller controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the first modulator, to a target value, and controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the second modulator, to a value shifted from the target value just by π. - 特許庁