「位相シフト干渉計」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

位相シフト干渉縞同時計測装置において、入射光強度や撮像装置の撮像時間の違いにより干渉縞画像の強度が変化する場合に、測定時の干渉縞画像を補正することにより、位相シフト干渉縞同時計測装置の大幅な高精度化を図ることにある。例文帳に追加

To significantly enhance the precision of a phase shift interference fringe simultaneous measuring apparatus by correcting an interference fringe image in measurement when the intensity of the interference fringe image is changed by the difference in incident light intensity or imaging time of an imaging device in the phase shift interference fringe simultaneous measuring apparatus. - 特許庁

高速かつ高精度にワーク表面高さを測定する位相シフト干渉計を提供する。例文帳に追加

To provide a phase shift interferometer for measuring a height of a workpiece surface at high speed with high accuracy. - 特許庁

このため、２波長位相シフト干渉法により計測レンジを拡大しつつ、その演算過程における縞次数誤りによる誤差の影響を少なくし、位相シフト干渉法本来の高い精度を維持することができる。例文帳に追加

As enlarging a measuring range by two-wavelength phase-shifting interferometry, it is therefore possible to reduce the effects of errors due to fringe order errors in its arithmetic processes and maintain original high accuracy in phase-shift interferometry. - 特許庁

シャリング干渉計（６，４４）により、位相シフトマスク（３）の横ずらし干渉画像を形成し、当該干渉画像を2次元撮像装置（１７，４８）により撮像する。例文帳に追加

A laterally offset interference image of a phase shift mask (3) is formed by a shearing interferometer (6, 44), and the interference image is captured by a two-dimensional imaging device (17, 48). - 特許庁

干渉縞の２次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、新たに位相接続処理を行なう対象画素に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連画素の位相情報のみを用いて行なう。例文帳に追加

In a phase unwrapping method in interference fringe analysis using a plurality of interference fringe images acquired by phase shifts through the use of an interferometer for acquiring two-dimensional images of interference fringes, phase unwrapping to target pixels to which phase unwrapping is to be newly performed is determined only by using phase information of related pixels to which phase unwrapping is already performed in images. - 特許庁

この波長非依存性により、この軸方向位相シフターを用いることで、低コヒーレンス干渉での位相シフト計測が可能になる。例文帳に追加

The phase shift in low-coherence interference can be measured by using the above phase shifter in the axial direction owing to the wavelength independent property. - 特許庁

位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。例文帳に追加

To provide a Fizeau interferometer properly measuring the form of a spherical surface to be measured even in the case where a phase shift method is used. - 特許庁

平面計測用位相シフト干渉計の光学的位相制御装置、光学的位相制御方法及び光学的位相制御プログラムを格納した記憶媒体例文帳に追加

OPTICAL PHASE CONTROLLER FOR PHASE SHIFT INTERFEROMETER FOR PLANE MEASUREMENT AND OPTICAL PHASE CONTROL METHOD FOR THE SAME, AND STORAGE MEDIUM WITH OPTICAL PHASE CONTROL PROGRAM - 特許庁

干渉計の光路差を正弦波状に高速変化させ、光路差が位相シフト法に必要な所定の位置となるタイミングで光源を発光して物体表面の干渉画像を取得する高精度な干渉計測装置を提供する。例文帳に追加

To provide a highly-accurate interference measuring device for changing at high speed an optical path difference of an interferometer into a sine wave shape, allowing a light source to emit light at a timing when the optical path difference is on a prescribed position necessary for a phase shift method, and acquiring an interference image of an object surface. - 特許庁

位相制御部は、第１の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を目標値に制御すると共に、第２の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を上記目標値からπだけシフトした値に制御する。例文帳に追加

A phase controller controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the first modulator, to a target value, and controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the second modulator, to a value shifted from the target value just by π. - 特許庁

多波長干渉計の空間的位相シフト法において高速、かつ、低コストで空間キャリアの変調に対応できる干渉縞解析方法及び収差測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide an interference fringe analytical method and an aberration measuring method capable of coping quickly with modulation of a space carrier at low cost, in a spatial phase shift method for a multiwavelength interferometer. - 特許庁

この導波路ｊを案内される光信号の規定された位相シフトΔφ_ｊが生じ、それにより、マルチビーム干渉計における干渉パターンの収差の補正が長持ちすることになる。例文帳に追加

A prescribed phase shift Δϕj of a light signal guided in this waveguide (j) is caused, and consequently the correction of aberrations of an interference pattern of the multibeam interferometer lasts a long time. - 特許庁

電気的な撮像データを用いて、同時的に得られる３つの干渉縞画像のコントラストや輝度を自動的に調整できるような位相シフト干渉縞の同時計測装置の画像補正法を得るにある。例文帳に追加

To obtain an image correcting method for a device for simultaneously measuring phase-shift interference fringes capable of automatically adjusting the contrast and luminance of three simultaneously obtained interference fringe images through the use of electric image pickup data. - 特許庁

測定時と予備測定時の受光強度比を求め、この受光強度比を用いて干渉縞画像の強度補正を行うことにより、位相シフト干渉縞同時計測装置の大幅な高精度化を図ろうとするものである。例文帳に追加

The light receiving intensity ratio between at measuring time and preliminary measuring time is determined, and the intensity correction of the interference fringe image is performed by use of the light receiving intensity ratio, thereby, the precision of the phase shift interference fringe simultaneous measuring apparatus is significantly enhanced. - 特許庁

２波長位相シフト干渉法の計測精度を改善し、従来の位相シフト光学系のわずかな改良で長レンジの計測を可能とする表面形状測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide a surface shape measuring method capable of long-range measurement by improving measurement accuracy in two-wavelength phase-shifting interferometry and only slightly improving a conventional phase-shift optical system. - 特許庁

干渉計における位相シフトを複数の偏光板を用いて光学的に行う場合に生じる位相シフトの誤差の影響を受けない形状測定の結果を簡易に得る。例文帳に追加

To easily provide a result of shape measurement that is not affected by an error of phase shift occurring when phase shift in an interferometer is performed optically using a plurality of polarizing plates. - 特許庁

広帯域レーザー光源１１から発生された個々の波長成分に位相変調器１２によって位相シフトを与え、マイケルソン干渉計１４とピエゾステージ１５を組み合わせた干渉自己相関計１３を通した光を試料１８に照射する。例文帳に追加

A phase shift is imparted to each phase component generated from a wide-band laser light source 11 by a phase modulator 12, and a sample 18 is irradiated with light passing an interference autocorrelation measuring device 13 formed by combining a Michelson interferometer 14 with a piezo stage 15. - 特許庁

実際に低コヒーレンス干渉計を作成し、位相シフターおよび位相シフトアルゴリズムを適応することで、低コヒーレンスインターフェログラムから包絡線成分の抽出を行った。例文帳に追加

A low-coherence interferometer is actually produced and the envelope line component is extracted from the low-coherence interferogram by adapting the phase shifter and the phase shift algorithm. - 特許庁

振幅検出回路において検出される振幅が低減されるように遅延干渉計の位相シフト量を制御する位相調整器を備えていてもよい。例文帳に追加

The optical DQPSK receiver may be provided with a phase adjuster for controlling the phase shift amount of the delay interferometer so as to reduce the amplitude detected in the amplitude detection circuit. - 特許庁

平行度及び平面度の計算方法は、試料をプリズムの底面に垂直な方向に一定の距離で動かし、干渉縞の変化を画像処理し、表裏それぞれの面について位相シフト法により計算する。例文帳に追加

In a calculation method for the parallelism and the flatness, the sample is moved by a fixed distance along a direction perpendicular to a bottom face of the prism, a change of the interference fringe is image-processed, and calculation is carried out as to the respective obverse and reverse faces, by a phase shift method. - 特許庁

ＷＰＭによって与えられる位相シフトを示すモニタ光を作り出すために導波路型モニタリング構造がマッハツェンダ型干渉計を形成するようにＷＰＭと並列で光学的に結合される。例文帳に追加

A waveguide monitoring structure is optically coupled in parallel with the WPM so as to form a Mach-Zehnder interferometer therewith for generating monitor light that indicates a phase shift imparted by the WPM. - 特許庁

差動位相偏移変調された光信号を復調する際に用いられる遅延干渉計を空間光学系で構成するとともに、遅延量制御の応答速度を高め、かつ光路シフトを抑制した光復調器を提供すること。例文帳に追加

To provide an optical demodulator for constituting a delayed interferometer, using space optics, that is used when demodulating an optical signal that has been differential phase shift keyed, thereby increasing the response speed of delay amount control and suppressing optical path shift. - 特許庁

差動Ｍ相位相シフト変調方式によって変調された光信号を受信する光受信装置１０１において、遅延干渉計３−１，３−２の各々には、分岐部２で分岐された光信号が個別に入力される。例文帳に追加

In an optical receiver 101 that receives an optical signal which has been modulated by a differential M phase phase-shift modulation method, each of delay interferometers 3-1 and 3-2 is inputted with an optical signal that has been branched at a branch part 2 individually. - 特許庁

互いに異なる方向からの２光束照射に係る各々の位相シフト操作を高精度に同時に行なうことが可能な２光束照射方向切替型のスペックル干渉計装置を得る。例文帳に追加

To provide a speckle interferometry system of a two-flux illuminating direction switchable type, which simultaneously and precisely carry out respective phase shift operations about illuminations of two fluxes in directions different from each other. - 特許庁

被検面と参照面の間の相対的姿勢を自動的且つ高精度に制御可能とした、位相シフト法による干渉縞計測による光学式形状測定装置を提供する。例文帳に追加

To provide an optical shape measuring instrument which enables the relative attitude between an inspected surface and a reference surface to be automatically controlled with high precision and measures interference fringes by a phase shift method. - 特許庁

ストロボ位相シフト干渉装置において、光路差を設定し、設定した光路差に対し３点以上の複数位相で動作中のＭＥＭＳの高さを計測し、動作状態のＭＥＭＳの高さ軌跡の推定式を算出し動作状態のＭＥＭＳの形状を計算により求める。例文帳に追加

A stroboscopic phase shift interference device sets optical path difference, measures the height of the MEMS under operation at a plurality of phases at three or more points with respect to the set optical path difference, calculates an estimation equation of height locus of the MEMS under operation, and determines the shape of the MEMS under operation by calculation. - 特許庁

中空コアフォトニックバンドギャップファイバーを用いることによって、光ファイバーを伝搬する光に位相シフトをもたらし、結果として、干渉計の出力において誤差を生じさせるであろうレイリー後方散乱およびカー効果が減じられる。例文帳に追加

A phase shift is brought to light propagated through an optical fiber by using the hollow core photonic band gap fiber, and rearward Rayleigh scattering and a Kerr effect estimated to generate an error in an output of the interferometer are reduced as a result thereof. - 特許庁

本発明の表面形状測定方法によれば、２波長位相シフト干渉法における各位置の縞次数の決定において、縞次数の計算に含まれる誤差分布が推定され（ステップＳ２１〜Ｓ２４）、その誤差分布から特定した誤差を差し引いて縞次数が求められる（ステップＳ２５，Ｓ２６）。例文帳に追加

In the surface shape measuring method, an error distribution contained in fringe order computation is estimated in the determination of fringe order of each position in two-wavelength phase-shifting interferometry (Step S21-S24), and the fringe order is determined by subtracting specified errors from the error distribution (Step S25 and S26). - 特許庁

干渉計等により出力された直交偏光された物体および参照ビームを含んでいる一つのビームを入力して、第１および第２の接合面で反射と透過することで４本のビームに分光と同時に位相シフトを施して、４相のビームを生成する。例文帳に追加

One beam including an orthogonally polarized object and reference beams output from an interferometer or the like is inputted, and spectral diffraction into four beams and phase shifting are applied thereto simultaneously by performing reflection and transmission by the first and second bonded surfaces, to thereby generate four-phase beams. - 特許庁

改良された二つの位相シフトフィゾ（Fizeau）干渉計２０、４０の組み合わせを用いて、ウエーハ６０の側面６１又は６２の各々とそれに対応する基準平面３２又は５２の間の単一側面の間隔マップを同時に計測し、コンピュータ３８、５８でこれらのデータから厚さ変化と形状を計算する。例文帳に追加

Spacing maps of single side faces between a side face 61 or 62 of the wafer 60 and a reference plane 32 or 52 corresponding respectively thereto are measured at the same time, using combination of two improved phase shift Fizeau interferometers 20, 40, and computers 38, 58 calculates the thickness variation and the shape, based on data therein. - 特許庁

本発明は，位相シフト法を用いてウェーハの一方の面の形状を測定するのに同期してウェーハの他方の面の干渉縞画像から移動量を計算し，求めた移動量を用いて，ウェーハの一方の面の形状を計算することによって，ウェーハに移動がある場合にも高い測定精度を確保することを図ったものである。例文帳に追加

The moving quantity of the water is calculated from the interference fringe image of the other surface of the wafer, in synchronization with respect to the measurement of the shape of one surface of the wafer using a phase shift method, and the shape of one surface of the wafer is calculated using the calculated moving quantity to ensure high measurement accuracy, even when the wafer is moved. - 特許庁