布磨機の英語

研磨布上にスラリーを供給する工程と、研磨ヘッドに保持され、有機膜を有する半導体基板を前記研磨布に当接させる工程と、研磨布および研磨ヘッドを回転させる工程と、研磨布および研磨ヘッドを停止させる工程とを含み、前記研磨布および研磨ヘッドの回転および停止を繰り返して前記有機膜を化学的機械的に研磨することを特徴とする。例文帳に追加

The organic film is chemically mechanically polished by repeating the rotation and stoppage of the polishing cloth and the polishing head. - 特許庁

化学的機械研磨の研磨布のドレッシングの際、研磨布が面内で均一な摩耗量分布を示すドレッシング方法を提供する。例文帳に追加

To provide a dressing method to indicate uniform wear amount distribution in a surface during dressing of the polishing cloth of a chemical mechanical polishing. - 特許庁

ベルト式揚送研磨機における研磨布の装着作業の容易化を図る。例文帳に追加

To facilitate installation work of a polishing cloth in a belt lifting type polishing machine. - 特許庁

研磨装置が、研磨剤の塗布を研磨布へ行う場合に、スプレーノズル或いはスリットノズル５４を用いて直接塗布する機構を具備している。例文帳に追加

When a polishing device applies the polishing agent to the polishing cloth, it has a direct applying mechanism using a spray nozzle or a slit nozzle 54. - 特許庁

パチンコ玉揚送研磨機の研磨布保持装置に研磨布の埃や毛羽を除去するための吸塵プレートを設けることにより、研磨布の洗濯を容易にする。例文帳に追加

To easily wash a polishing cloth by arranging a dust suction plate in order to remove dust or fluff in a polishing cloth holding device for a pachinko game ball lifting-up and conveying polisher. - 特許庁

研磨布洗浄装置１３は、研磨布洗浄機構９、ドライアイス粒子噴射機構１４、及び、揺動機構１５を備えている。例文帳に追加

The abrasive cloth cleaning device 13 is furnished with an abrasive cloth cleaning mechanism 9, a dry ice particle spouting mechanism 14 and an oscillating mechanism 15. - 特許庁

ベルト式揚送研磨機の研磨布を引き出して容易に緊張状態に保持する研磨布の保持装置を安価に提供する。例文帳に追加

To inexpensively provide an abrading cloth holding device for drawing out an abrading cloth of a belt-type elevating and carrying abrading machine and easily holding it under a stretched condition. - 特許庁

研磨機の上定盤１または下定盤１２に接着される研磨布７と、研磨布７に被覆される面状ヒータ１４とを有する研磨用治具である。例文帳に追加

This jig for polishing has a polishing cloth 7 adhered to the upper surface plate or the lower surface plate 12 of a polisher, and a surface form heater 14 covered by the polishing cloth 7. - 特許庁