減圧ユニットの英語

乾燥処理部１５０には、第１および第２減圧ユニット１５２，１５３、および待機ユニット１５４を設ける。例文帳に追加

The dry processing part 150 is provided with first and second reduced pressure units 152, 153 and a standby unit 154. - 特許庁

このため、垂直搬送ユニット７、減圧乾燥ユニット５３ｂ、５５ｂ及びレジスト塗布処理ユニットＣＴが一方向に並設されることことを回避して、塗布現像処理装置１の小型化を図ることができる。例文帳に追加

Thus, the carrying unit 7, the reduced-pressure drying units 53b and 55b and the resist application processing unit CT are prevented from being arranged side by side in one direction, thereby miniaturizing an application development processing apparatus 1. - 特許庁

センサユニット本体を、特に減圧環境下において絶縁性を有する液体ＬＱに浸し、センサユニット本体内部の隙間等に、前記液体ＬＱを含浸させていることで、センサユニット本体内部の気体を排除し、センサユニット内部への液体ＬＱの含浸を確実にする。例文帳に追加

A sensor unit body is dipped into insulating liquid LQ especially under a reduced-pressure environment, to thereby impregnate the liquid LQ into gaps, or the like, inside the sensor unit body, and thereby the gas inside the sensor unit body is removed, and makes impregnation of the liquid LQ to the inside of the sensor unit certain. - 特許庁

検出ユニット１０が減圧室１００に入室され、真空ポンプ１２０の駆動によって減圧室１００内が減圧される。例文帳に追加

With a detection unit 10 housed in a depressurization chamber 100, the interior of the depressurization chamber 100 is depressurized by driving a vacuum pump 120. - 特許庁

本発明のフィルタリングシステムにおいて、Ａフィルタユニット１１３を逆洗する際には、Ａ減圧配管１１９の減圧配管弁１２０を開き、Ａフィルタユニット１１３内の減圧を行う。例文帳に追加

In the filtering system, a vacuum pipe valve 120 of an A vacuum pipe 119 is opened to reduce the pressure within an A filter unit 113 when the A filter unit 113 is washed reversely. - 特許庁

そして、一方の真空処理ユニットＶＵのチャンバＣＨ内が大気圧から減圧される。例文帳に追加

The pressure in the chamber CH of the one vacuum processing unit VU is reduced from the atmospheric pressure. - 特許庁

各ユニット７０、７１は、その内部の雰囲気を所定の真空度まで減圧可能になっている。例文帳に追加

The respective units 70 and 71 have their inner atmospheres reduced to prescribed degrees of vacuum. - 特許庁

各ユニット７０、７１、７２は、その内部の雰囲気を所定の真空度まで減圧可能になっている。例文帳に追加

The respective units 70, 71 and 72 have their inner atmospheres reduced to prescribed degrees of vacuum. - 特許庁