蒸着特性の英語

蒸着後、薄膜構造と光電子特性を向上させるため、アニール工程が行われる。例文帳に追加

After vapor deposition, an annealing step is performed to improve the thin film structure and photoelectron characteristics. - 特許庁

また、これに伴って、基板面内において蒸着膜のカバレッジ特性の均一化を図ることができる。例文帳に追加

Thus, the coverage characteristic of the vapor-deposited film in the substrate plane can be unified. - 特許庁

電子銃の耐電圧特性の向上及び蒸着膜の形成時の省電力化を図る。例文帳に追加

To device improvement in voltage-withstanding property of an electron gun and power saving, when forming an evaporated film. - 特許庁

真空蒸着により製造される光学薄膜において、光学特性の面内分布を低減すること。例文帳に追加

To decrease the distribution of optical characteristics in the plane of an optical thin film manufactured by vacuum vapor deposition. - 特許庁

特性の向上した多孔性シリカガラスフィルムを提供する化学気相蒸着方法を提供する。例文帳に追加

To provide a chemical vapor deposition method providing porous silica glass films with improved characteristics. - 特許庁

多数の基板に蒸着を行う蒸着装置において、メンテナンスのタイミングを最適化することで、真空度の変動による蒸着膜の特性のばらつきを抑え、歩留まりの向上を図る。例文帳に追加

In a vapor deposition apparatus for performing vapor deposition on a plurality of substrates, dispersion in characteristics of a vapor deposition film caused by fluctuation in vacuum degree is suppressed and the yield is improved by optimizing timing of maintenance. - 特許庁

一度に多数の基板に蒸着膜を形成する場合においても、個々の基板に蒸着斑が生じず、安定した反射特性を有する基板を製造できる蒸着装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vapor deposition apparatus which does not form vapor deposition spots on individual substrates even when vapor-deposited films are formed on many substrates at a time, and can manufacture a substrate having stable reflection properties. - 特許庁

基板及び回路素子の損傷をもたらさず、低温で速い蒸着速度を確保し、優れたステップカバレッジ及び膜質特性を有する薄膜を蒸着させる化学気相蒸着装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a chemical vapor deposition apparatus which deposits a thin film with superior step coverage and film quality without bringing damage to a substrate and a circuit element, while keeping a fast evaporation speed at low temperature. - 特許庁