薬液回収装置の英語

薬液供給装置１２は、同種の薬液が貯留された第１および第２タンク１３，１４と、第１ヒータ１７が介装された薬液供給管１５と、薬液回収管１６とを備えている。例文帳に追加

A chemical liquid feeding apparatus 12 includes: first and second tanks 13, 14 in which chemical liquid of the same sort is stored; a chemical liquid feeding pipe 15 into which a first heater 17 is inserted; and a chemical liquid collecting pipe 16. - 特許庁

複数種類の薬液を互いに混合することを防止しつつ分別回収でき、且つ回収された複数種類の薬液を再利用して基板に良好な処理を行える基板薬液処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate chemical processor for conducting effective processes to a substrate by individually collecting each chemical while preventing mixing of a plurality of kinds of chemicals and by re-using the plurality of chemicals that have been collected. - 特許庁

薬液を効率よく回収することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。例文帳に追加

To provide substrate processing equipment and a substrate processing method in which chemical can be collected efficiently. - 特許庁

排ガス２１ は、薬液ミスト除去回収装置主フィルタより構成される薬液ミスト除去回収装置を経由した後、排ガス再生装置３ に流入する。例文帳に追加

The exhaust gas 21 flows into a waste gas regeneration apparatus 3 through a liquid chemical mist removing and recovering apparatus constituted of a liquid chemical mist removing apparatus main filter. - 特許庁

内視鏡の洗浄工程中における廃液及び薬液の回収を、直接に洗浄槽より強制的に行なって廃液・薬液の回収時間の短縮化を可能とし、循環ポンプを薬液の回収経路として循環ポンプ内の消毒ができる内視鏡洗浄装置を提供する。例文帳に追加

To shorten the recovery time of waste liquid and liquid chemicals by forcibly discharging or forcibly recovering water or the liquid chemicals stored inside a washing tank directly from the inside of the washing tank through a pump and a changeover valve. - 特許庁

基板処理に繰り返し使用される薬液やその薬液中の異物を除去するためのフィルタの寿命を長期化できる薬液回収方法および基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a chemical solution recovering method and a board processing device, wherein the lifetime of a filter can be prolonged for removing a chemical solution to be repeatedly used for a board processing or a contaminant in the chemical solution. - 特許庁

抄紙機における紙切れ発生時に、サイズロール上の薬液を除去、回収する方法およびその装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING AND RECOVERING CHEMICAL ON SIZING ROLL IN CASE OF OCCURRENCE OF PAPER BREAKAGE IN PAPER MAKING MACHINE - 特許庁

例えば薬液処理とそれに伴うリンス処理等の異なる処理を１つの装置（１バス）で連続して行うことができ、しかも薬液等を回収してより有効に再使用できるようにする。例文帳に追加

To successively perform different processings, such as chemical processing and rinsing processing accompanying it, by one device (one bath) and to collect and effectively reuse chemicals, etc. - 特許庁