Chuck Lowとは 意味・読み方・使い方

To provide a low-priced chuck stage capable of adsorbing a substrate in a short time.例文帳に追加

短時間で基板を吸着することが可能な低価格のチャックステージを提供する。 - 特許庁

To effectively suppress exposure irregularities caused by high and low levels of a lid that plugs the opening of a chuck.例文帳に追加

チャックの開口を塞ぐ蓋の高低により発生する露光むらを効果的に抑制する。 - 特許庁

The electrostatic chuck 10 has a structure with a metal 14 buried in a low thermal expansion material 12.例文帳に追加

静電チャック１０は、低熱膨張材料１２に金属１４が埋設された構造を有する。 - 特許庁

After the chemical solution 4 is dropped, the spin chuck 12 is rotated at a low speed to rotate the wafer 3.例文帳に追加

薬液４が滴下された後、スピンチャック１２を低速回転させてウエハ３を回転させる。 - 特許庁

To provide a vacuum chuck having a DLC film and having a low thermal expansibility and even an excellent corrosion resistance.例文帳に追加

ＤＬＣ膜を備え、低熱膨張性で耐食性にも優れた真空チャックを提供する。 - 特許庁

A controller 7 controls a chuck rotation drive mechanism 11 to rotate a spin chuck 1 at the predetermined low rotating velocity (for example, 300 rpm or less).例文帳に追加

制御装置７は、チャック回転駆動機構１１を制御して、スピンチャック１を予め定める低回転速度（たとえば、３００ｒｐｍ以下）で回転させる。 - 特許庁

To manufacture a chuck having an uneven clamping face at a low cost, prevented from possibly causing the slide of a rod material in the chuck during machining the rod material.例文帳に追加

棒材加工作業中に生じ得るチャック内での棒材の滑りを防止できる凹凸状の把持面を有したチャックを低コストで作製する。 - 特許庁

To obtain a chuck for a mechanical pencil which is low in cost and excellent in adhesion and can be plated to improve performance or a chuck ring.例文帳に追加

低コストで且つ密着性の優れたメッキを行うことができ、それによって性能が向上されたシャープペンシル用チャックまたはチャックリングとする。 - 特許庁