Electron beam physical vapor depositionとは 意味・読み方・使い方

To provide a vapor deposition material capable of manufacturing an oxide film containing strontium and calcium under a stable condition by a physical vapor growth method such as an electron beam vapor deposition method, with low hygroscopicity.例文帳に追加

吸湿性が低く、電子ビーム蒸着法などの物理気相成長法により安定した条件でストロンチウムとカルシウムとを含む酸化物膜を製造することができる蒸着材を提供する。 - 特許庁

To provide a method of controlling deposition rate, a mechanism for controlling deposition rate and an electron-beam physical vapor deposition (EB-PVD) apparatus capable of depositing a film onto an object to be deposited at a low deposition rate while quantitatively-stably generating vaporized particles.例文帳に追加

蒸発粒子を量的に安定発生させつつ、被成膜対象に低成膜レートで成膜する成膜レート制御方法、成膜レート制御機構、およびＥＢ−ＰＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

The vapor deposition system is composed of: an electron beam irradiation apparatus (2) arranged in a vapor deposition chamber (4) and irradiating the upper face (11) of a vapor depositing material (9) with an electron beam; and an irradiating area controller controlling the irradiating area of the upper face (11) of the vapor depositing material or controlling the physical volume corresponding to the irradiating area.例文帳に追加

蒸着室（４）の中に配置され蒸着材料（９）の上面（１１）に電子ビームを照射する電子線照射装置（２）と、上面（１１）に照射される照射面積を制御し、又は、照射面積に対応する物理量を制御することによりその上面（１１）に照射される照射面積を制御する照射面積制御装置とから構成されている。 - 特許庁

To provide an EB-PVD (Electron-Beam Physical Vapor Deposition) apparatus equipped with an independent system designed to monitor and maintain a constant relative level of the molten pool within the EB-PVD chamber.例文帳に追加

ＥＢ−ＰＶＤチャンバ内部の溶融プールの一定の相対液面を監視して維持するように設計された、独立したシステムを備えるＥＢ−ＰＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

The coated turbine engine 100 components include the turbine engine components 102, 104, 106, 108, 110, 112, and the erosion resistant coatings arranged on at least a portion on the surface of the turbine engine components 102, 104, 106, 108, 110, 112 by using electron beam physical vapor deposition or ion plasma cathode arc vapor deposition.例文帳に追加

被覆されたタービンエンジン１００構成要素は、タービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２と、電子ビーム物理蒸着又はイオンプラズマカソードアーク蒸着を用いてタービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２の表面の少なくとも一部分上に配置された耐浸食性コーティングとを含んでいる。 - 特許庁