HARSとは 意味・読み方・使い方

A phase-change substance layer pattern, which the HARS is fully filled through an in-situ reflow mechanism without defects, is formed.例文帳に追加

インサイチュリフローメカニズムを通じてＨＡＲＳを欠陥なく充分に満たす相変化物質層パターンを形成する。 - 特許庁

The phase-change structure fills partially the HARS, fills a first phase-change substance layer pattern, including a first phase-change substance and the remainder of the HARS, and includes a second phase-change substance having a composition being different from the first phase-change substance.例文帳に追加

相変化構造物はＨＡＲＳを部分的に満たし、第１相変化物質を含む第１相変化物質層パターン、及び前記ＨＡＲＳの残りを満たし、前記第１相変化物質と相異なる組成を有する第２相変化物質を含む。 - 特許庁

To provide a phase-change structure which contains a phase-change substance layer pattern of a minute size, having a superior step coverage or gap-fill characteristics for keeping a resistance margin and maintenance characteristic, in HARS (high-aspect-ratio-structure).例文帳に追加

抵抗マージンと維持特性を確保しながら優秀なステップカバレッジ、又は、ギャップフィル特性を有する、微小サイズの相変化物質層パターンをＨＡＲＳ（Ｈｉｇｈ＿Ａｓｐｅｃｔ＿Ｒａｔｉｏ＿Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ、高縦横比構造）内に含む相変化構造物を提供すること。 - 特許庁