L.A. Heat (film)とは 意味・読み方・使い方

After La(O) film 11 as a cap film and a W film 12 of a metal electrode are formed on a silicon film 7 on an NMOS region and on a SiN film 9 on a PMOS region; and then heat treated to diffuse La elements of the La(O) film 11 into high-dielectric gate insulating film in NMOS region.例文帳に追加

そしてＮＭＯＳ領域上のシリコン膜７及びＰＭＯＳ領域上のＳｉＮ膜９上にキャップ膜としてのＬａ（Ｏ）膜１１及びメタル電極のＷ膜１２を形成した後、加熱処理して、Ｌａ（Ｏ）膜１１のＬａ元素をＮＭＯＳ領域の高誘電率ゲート絶縁膜に拡散させる。 - 特許庁

To provide a raw material compound for La, being more easily heat decomposed/deposited than La(dpm)_3, forming a ferroelectric film even if a substrate temperature is as low as 450°C in producing a PLZT film by CVD supplying the raw material by a solution vaporizing method, and to provide a method for producing the compound and a method for forming the PLZT film.例文帳に追加

溶液気化方式で原料を供給するＣＶＤでＰＬＺＴ膜を製造する方法において、Ｌａ源としてＬａ（ｄｐｍ）_３より熱分解堆積しやすく、基板温度が４５０℃と低くても強誘電性の膜が得られるＬａ原料化合物を特定し、その製法とＰＬＺＴ膜の製法を提供する。 - 特許庁