MONOSILANEとは 意味・読み方・使い方

CONVERSION METHOD OF HIGH BOILING POINT RESIDUE INTO MONOSILANE BY DIRECT METHOD例文帳に追加

直接法による高沸点残留物のモノシランへの転化法 - 特許庁

In a step 1, a semiconductor substrate is exposed to monosilane (SiH_4).例文帳に追加

ステップ１では、半導体基板がモノシラン（ＳｉＨ_4）に暴露される。 - 特許庁

Then, in a step 2, the remaining monosilane (SiH_4) is discharged.例文帳に追加

次に、ステップ２では、残存するモノシラン（ＳｉＨ_4）が排気される。 - 特許庁

In this case, the flow of monosilane and hydrogen is respectively 20 sccm and 20 slm.例文帳に追加

このとき、モノシラン及び水素の各流量は、夫々２０ｓｃｃｍ、２０ｓｌｍとする。 - 特許庁

Thereafter, tungsten hexafluoride gas and monosilane gas are introduced again in the vacuum chamber.例文帳に追加

この後、六フッ化タングステンガスおよび前記モノシランガスを真空チャンバ内に再び導入する。 - 特許庁

Introduction of tungsten hexafluoride gas and monosilane gas is then stopped for a predetermined time.例文帳に追加

次に、六フッ化タングステンガスおよびモノシランガスの導入をある時間にわたって停止する。 - 特許庁

Monosilane (SiH_4) gas, which is material gas, is introduced into a vacuum tank from a shower plate.例文帳に追加

シャワープレートから原料ガスであるモノシラン（ＳｉＨ_４ ）ガスを真空槽内に導入する。 - 特許庁

A trimethylsilane, since containing methyl groups, has a molecular structure bulkier than that of a monosilane or the like.例文帳に追加

トリメチルシランは、メチル基を有するため、モノシラン等と比較して嵩高い分子構造を有する。 - 特許庁