monosilane gasとは 意味・読み方・使い方

This exhaust gas treatment system separates each gas of hydrogen and monosilane from a mixed gas containing the hydrogen and the monosilane discharged from the semiconductor manufacturing device 1 by membrane separation.例文帳に追加

排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される水素およびモノシランを含む混合ガスから膜分離によりそれぞれのガスを分離する。 - 特許庁

In this case, the content of the nonoxidizing gas is preferably made higher than the total content of the amounts of oxygen used for the oxidation reaction of the gaseous monosilane and the oxidizing gas of the gaseous monosilane.例文帳に追加

この場合において、非酸化性ガス量は、モノシランガスとモノシランの酸化性ガスの酸化反応に与る酸素量との合計量よりも多くすることが好ましい。 - 特許庁

The gas containing silicon uses monosilane or the like that is diluted by an inert gas such as nitrogen or the like for example.例文帳に追加

シリコンを含むガスとしては、例えば、モノシラン等を窒素等の不活性ガスで希釈したものが用いられる。 - 特許庁

Tungsten hexafluoride gas and monosilane gas are first introduced in a vacuum chamber where the substrate is housed for a predetermined time.例文帳に追加

まず、基板が収容された真空チャンバ内に、六フッ化タングステンガスおよびモノシランガスをある時間にわたって導入する。 - 特許庁

A membrane separation part 5 includes a membrane which selectively allows the hydrogen to permeate, and separates the monosilane and hydrogen from the mixed gas to which the third component gas is added.例文帳に追加

膜分離部５は、水素を選択的に透過させる膜を有し、第３成分ガスが添加された混合ガスからモノシランと水素とを分離する。 - 特許庁

This exhaust gas treatment system treats a mixed gas containing at least hydrogen and a monosilane discharged from the semiconductor manufacturing device 1.例文帳に追加

排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。 - 特許庁

This exhaust gas treatment system 100 treats a mixed gas containing at least hydrogen and a monosilane discharged from the semiconductor manufacturing device 1.例文帳に追加

排ガス処理システム１００は、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。 - 特許庁

In the above nonselective epitaxial growth, monosilane, hydrogen, diborane and germane are used as raw material gas.例文帳に追加

このような非選択エピタキシャル成長では、原料ガスとして、モノシラン、水素、ジボラン及びゲルマンを用いる。 - 特許庁