MicroElectro Mechanical Systemとは 意味・読み方・使い方

In the piezoelectric device 1 which is an MEMS (MicroElectro Mechanical System) device, a whole of silicon layer 14 of SOI (Silicon On Insulator) substrate 11 is made as a p type region.例文帳に追加

ＭＥＭＳデバイスである圧電デバイス１において、ＳＯＩ基板１１のシリコン層１４全体をｐ型領域とする。 - 特許庁

To provide a translation MEMS accelerometer device having a pole piece formed accurately for guiding magnetic flux generated by a coil in a microelectro mechanical system (MEMS) device layer.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイス層内のコイルによる磁束を誘導するために、正確に形成されたポールピースを有する並進ＭＥＭＳ加速度計デバイスを提供すること。 - 特許庁

The semiconductor element 1 is a semiconductor acceleration sensor chip as a kind of an MEMS (microelectro mechanical system) device, and includes a structure in which the three pads 19 are densely disposed on each three points.例文帳に追加

半導体素子１は、ＭＥＭＳデバイスの一種である半導体加速度センサチップであり、上記３箇所にパッド１９が３つずつ密集して配置されている。 - 特許庁

A solid-state image sensor includes: a photodiode PD that generates and stores a charge according to incident light; the floating capacitor FC that has a microelectro mechanical system capacitor 21 for indicating a variable capacity value according to a control signal, receives the charge and converts the charge into voltage; and an amplifier transistor that outputs a signal according to an electrical potential of the floating capacitor FC.例文帳に追加

固体撮像素子は、入射光に応じた電荷を生成し蓄積するフォトダイオードＰＤと、制御信号に応じた可変の容量値を示すマイクロエレクトロメカニカルシステムキャパシタ２１を有し、前記電荷を受け取って前記電荷を電圧に変換するフローティング容量部ＦＣと、フローティング容量部ＦＣの電位に応じた信号を出力する増幅トランジスタとを備える。 - 特許庁