Phospho-Silicate Glassとは 意味・読み方・使い方

The clad layers are composed of a boro-phospho-silicate glass (BPSG) film or a boro-silicate glass (BSG) film and the core layer is made of silica glass based material in which germanium density is set equal to or greater than 20wt%.例文帳に追加

クラッド層をボロフォスフォシリケートガラス（ＢＰＳＧ）膜又はボロシリケートガラス（ＢＳＧ）膜によって構成するとともに、コア層をゲルマニウム濃度を２０ｗｔ％以上としたシリカガラス系材料によって構成する。 - 特許庁

Above a heater 3 comprising a polysilicon resistance connected electrically with heater electrodes 4, a nano-granular thin-film resistance 1 made of Al_2O_3 and Co is provided via an interlayer film made of BPSG (Boron-doped Phospho-Silicate Glass) 7 and TEOS (tetra ethyl ortho silicate) 8.例文帳に追加

ヒータ電極４が電気的に接続されたポリシリコン抵抗からなるヒータ３上にＢＰＳＧ７及びＴＥＯＳ８からなる層間膜を介してＡｌ_２Ｏ_３とＣｏからなるナノグラニュラー薄膜抵抗１を設ける。 - 特許庁

The inter-layer insulating film 10 comprises a first silicon oxide film 10a provided by HDP(high density plasma)-CVD substantially comprising no impurities and a second silicon oxide film 10b whose main material is PSG (phospho silicate glass) deposited on the first silicon oxide film 10a.例文帳に追加

層間絶縁膜１０は、実質的に不純物を含まないＨＤＰ−ＣＶＤによる第１のシリコン酸化物膜１０ａと、この第１のシリコン酸化物膜１０ａ上に堆積されたＰＳＧを主体とする第２のシリコン酸化物膜１０ｂとを有する。 - 特許庁