Borophosphosilicate glassとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of forming a film of phosphosilicate glass or borophosphosilicate glass with a small moisture content in the film and small absorbed water.例文帳に追加

膜中水分及び吸着水の少ないフォスフォシリケートグラスまたはボロフォスフォシリケートグラスの成膜方法を提供する。 - 特許庁

To improve an FBPSG(fluorinated Borophosphosilicate glass) film in reflow properties as an insulating film in a transistor multilayered metal structure.例文帳に追加

トランジスター多層金属構造における絶縁膜としてのＦＢＰＳＧ膜のリフロー特性を改善する。 - 特許庁

The interlayer insulating film 131 is formed of a BPSG (BoroPhosphoSilicate Glass) film, with, for instance, a thin oxide film (SiO_2) in-between.例文帳に追加

層間絶縁膜１３１は、例えば薄い酸化膜（ＳｉＯ_２）を介してＢＰＳＧ（ボロン・リン・シリケートガラス）膜が形成されている。 - 特許庁

In the method of forming a film of phosphosilicate glass or borophosphosilicate glass by plasma chemical evaporation, trimethoxysilane is used as a source of silicon.例文帳に追加

プラズマ化学蒸着によるフォスフォシリケートグラスまたはボロフォスフォシリケートグラスの成膜方法において、シリコン源としてトリメトキシシランを用いることを特徴とする成膜方法。 - 特許庁

Between the SOI layer and the glass substrate, a bonding layer is provided which is formed of one layer or a plurality of layers of phosphosilicate glass, borosilicate glass, and/or borophosphosilicate glass, using organosilane as one material by a thermal CVD method at a temperature of 500 to 800°C.例文帳に追加

ＳＯＩ層とガラス基板との間に有機シランを材料の一つとして用い、熱ＣＶＤ法により５００℃〜８００℃の温度範囲で成膜された、リンガラス、ボロンガラス、リンボロンガラスのいずれかからなる１層もしくは複数層により形成された接合層を設けることで上記課題を解決する。 - 特許庁

A trivalent P material, i.e., trimethyl phosphite is decomposed (TMP-decomposed) in a non-oxygen atmosphere and anhydrous phosphorous acid P2O3 is controlled to form trivalent P silicate glass not used because of its unstable property, i.e., phosphosilicate glass(PSG) or borophosphosilicate glass is formed, using only anhydrous phosphorous acid P2O3, thereby realizing a low temp. reflow.例文帳に追加

３価のリン材料である亜リン酸トリメチルの無酸素雰囲気下での分解（ＴＭＰ分解）を実行して無水亜リン酸（Ｐ_2Ｏ_3）を制御することにより、その不安定性が原因で従来使用されていなかった３価のリンシリケートガラス、すなわち無水亜リン酸（Ｐ_2Ｏ_3）のみでＰＳＧまたはＢＰＳＧを形成して低温リフローを実現する。 - 特許庁