phosphosilicateとは 意味・読み方・使い方

In the method of forming a film of phosphosilicate glass or borophosphosilicate glass by plasma chemical evaporation, trimethoxysilane is used as a source of silicon.例文帳に追加

プラズマ化学蒸着によるフォスフォシリケートグラスまたはボロフォスフォシリケートグラスの成膜方法において、シリコン源としてトリメトキシシランを用いることを特徴とする成膜方法。 - 特許庁

The phosphosilicate gel is obtained for example by forming a sol by way of adding and mixing phosphoric acid to a contact material of water and tetraalkoxysilane containing acid condensing catalyst and by applying heat treatment after converting the obtained sol into a gel.例文帳に追加

上記ホスホシリケートゲルは、例えば酸性縮合触媒を含む水とテトラアルコキシシランとの接触物に、リン酸を添加し混合してゾルとし、得られたゾルをゲル化させた後熱処理することにより得られる。 - 特許庁

A gate electrode 30 embedded in the trench 10a so that the opening portion of the trench 10a remains, and a PSG (phosphosilicate glass) film 40 is formed on the remaining opening portion as a source of diffusion of an impurity.例文帳に追加

そして、トレンチ溝１０ａの開口部分を残すようにゲート電極３０をトレンチ溝１０ａ内に埋め込み、残った開口部分に不純物の拡散源となるＰＳＧ（リンシリケートガラス）膜４０を形成する。 - 特許庁

A phosphosilicate glass is deposited and etched except for the upper part of gate 205 and source 201 to form an inter level dielectrics 207, over which a source metal 212 is deposited for function with a drain as a contact point.例文帳に追加

ホスシリケートガラスを堆積してソース２０１及びゲート２０５上部を残してエツチングしてインターレベル誘電体２０７を形成し、その上にソースメタル２１２を堆積してドレインを接点として機能させる。 - 特許庁

To provide a phosphosilicate glass ceramic that, despite a very small CaO content, has apatite crystals which are further very small and in particular in the nanoscale range, and that is thereby very similar to the natural tooth material in terms of its optical properties.例文帳に追加

非常に低いＣａＯ含有量にもかかわらず、アパタイト結晶を有し、これらのアパタイト結晶がさらに、非常に小さく、特に、ナノスケールの範囲内であり、従って、光学特性の観点で自然の歯の材料と非常に類似している、リンケイ酸ガラスセラミックを提供すること。 - 特許庁

The invented etchant etches materials with both doped and non-doped oxide films on the basis that etching rates for thermal oxide (THOX) and Boron Phosphosilicate Glass (BPSG) films are below 100Å/min at 25°C, and the BPSG etching rate/THOX etching rate is below 1.5.例文帳に追加

熱酸化膜（ＴＨＯＸ）及びボロンリンガラス膜（ＢＰＳＧ）のエッチングレートが２５℃で１００Å／ｍｉｎ以下、かつＢＰＳＧのエッチングレート／ＴＨＯＸのエッチングレートが１．５以下である、ドープ酸化膜と非ドープ酸化膜を有する被エッチング物をエッチングするためのエッチング液。 - 特許庁

Between the SOI layer and the glass substrate, a bonding layer is provided which is formed of one layer or a plurality of layers of phosphosilicate glass, borosilicate glass, and/or borophosphosilicate glass, using organosilane as one material by a thermal CVD method at a temperature of 500 to 800°C.例文帳に追加

ＳＯＩ層とガラス基板との間に有機シランを材料の一つとして用い、熱ＣＶＤ法により５００℃〜８００℃の温度範囲で成膜された、リンガラス、ボロンガラス、リンボロンガラスのいずれかからなる１層もしくは複数層により形成された接合層を設けることで上記課題を解決する。 - 特許庁

A trivalent P material, i.e., trimethyl phosphite is decomposed (TMP-decomposed) in a non-oxygen atmosphere and anhydrous phosphorous acid P2O3 is controlled to form trivalent P silicate glass not used because of its unstable property, i.e., phosphosilicate glass(PSG) or borophosphosilicate glass is formed, using only anhydrous phosphorous acid P2O3, thereby realizing a low temp. reflow.例文帳に追加

３価のリン材料である亜リン酸トリメチルの無酸素雰囲気下での分解（ＴＭＰ分解）を実行して無水亜リン酸（Ｐ_2Ｏ_3）を制御することにより、その不安定性が原因で従来使用されていなかった３価のリンシリケートガラス、すなわち無水亜リン酸（Ｐ_2Ｏ_3）のみでＰＳＧまたはＢＰＳＧを形成して低温リフローを実現する。 - 特許庁