ULPAとは 意味・読み方・使い方

When air is heated by the heaters 38 to be passed through a ULPA filter 34, the organic compound adsorbed on the ULPA filter 34 is desorbed.例文帳に追加

ヒータ３８でエアを加熱してＵＬＰＡフィルタ３４に通気すると、ＵＬＰＡフィルタ３４に吸着していた有機化合物が脱着する。 - 特許庁

By a blowing fan, the clean air is sent into a semiconductor manufacturing device main body 40 through the chemical filter 6 and the ULPA filter 53.例文帳に追加

送風ファンにより、ケミカルフィルタ６およびＵＬＰＡフィルタ５３を介して半導体製造装置本体４０内に清浄な空気を送る。 - 特許庁

A sampling port 52 is provided between the chemical filter 6 and an ULPA filter 53 for particle removal.例文帳に追加

ケミカルフィルタ６とパーティクル除去用のＵＬＰＡフィルタ５３の間にサンプリングポート５２を設ける。 - 特許庁

By the analyzer 57, the organic contamination amount of fetched outdoor air is measured between the chemical filter 6 and the ULPA filter 53.例文帳に追加

分析器５７によって、ケミカルフィルタ６とＵＬＰＡフィルタ５３の間で、取り込まれた外気の有機汚染量を測定する。 - 特許庁

The outside air introduced into the stocker 1 is filtered through a chemical removing filter 4 and a ULPA filter 3 thus bringing about an air circulating/conditioning system of high cleanliness in the stocker 1.例文帳に追加

ストッカー１内に導入された直後の外気をケミカル除去フィルター４およびＵＬＰＡフィルター３で濾過して、ストッカー１内を高清浄度の循環空調系とする。 - 特許庁

To easily measure gaseous pollutants existing in cleaned air spurted from an HEPA filter, a ULPA filter, a chemical filter or the like, without disturbing in-use filters, when a clean room is set up or when the clean room is in an activated state.例文帳に追加

クリーンルームを立ち上げたさいや，クリーンルーム稼働中に，ＨＥＰＡ，ＵＬＰＡ，ケミカルフイルタなどから吹き出される清浄空気中に同伴するガス状汚染物質を，使用中のフイルタごとに外乱なく簡易に計測できるようにする。 - 特許庁

Moreover, the gas in which the mist component is removed is filtered by a ULPA filter 26 to turn into a clean air, which is supplied to the apparatus through recycling.例文帳に追加

さらに、ミスト成分が除去された気体は、ＵＬＰＡフィルタ２６によりフィルタリングされてクリーンエアーとなり、リサイクルされて装置内に供給される。 - 特許庁