VACUUM REGULATORとは 意味・読み方・使い方

Gas is introduced into the vacuum treatment chamber 1, a value of a pressure regulator opening is constantly acquired when a pressure setting value is provided to a pressure regulator 5, and an evacuating ability anomaly of the vacuum treatment device is detected by a change in the value.例文帳に追加

真空処理室１内にガスを導入し、調圧弁５に対して圧力設定値を与えた時の、調圧弁開口度の値を常に取得し、その値の変化によって、真空処理装置の排気能力異常を検出する。 - 特許庁

The exhaust device P comprises an automatic pressure regulator 4 connected to the bottom of the treatment chamber 2 through an exhaust duct 3; a main vacuum pump 5 connected to the automatic pressure regulator 4; and the auxiliary vacuum pump 7 connected to the main vacuum pump 5 through a pipe 6.例文帳に追加

排気装置Ｐは、排気管路３を介して処理室２の底部に接続された自動圧力調節器４と、自動圧力調節器４に接続された主真空ポンプ５と、主真空ポンプ５に配管６を介して接続された補助真空ポンプ７とから構成されている。 - 特許庁

The substrate holding apparatus is equipped with a chuck 2, a chuck base 3, a vacuum pump 4, a pressure regulator 5, and a pressure pump 6.例文帳に追加

本発明に係る基板保持装置は、チャック２、チャック台３、真空ポンプ４、圧力レギュレータ５、加圧ポンプ６を備えている。 - 特許庁

A vacuum electropneumatic regulator 1 comprises a booster 20 controlled to be opened and closed by pilot pressures outputted from two solenoid valves.例文帳に追加

真空用電空レギュレータ１は、２つの電磁弁から出力されるパイロット圧で開閉制御されるブースタ２０を備える。 - 特許庁

The operating pressure of the regulator 43 and the threshold of the vacuum switch 42 are set based on the volume of the secondary side piping 12.例文帳に追加

レギュレータ４３の動作圧力及び真空スイッチ４２の閾値は、二次側配管１２の容積に基づいて設定される。 - 特許庁

The device is provided with a reusable thoracic vacuum regulator and an ordinary disposable collection chamber.例文帳に追加

本発明の装置は、再使用できる胸腔真空レギュレーターと、普通の使い捨て収集容器と、を含む。 - 特許庁

To provide a vacuum processing apparatus in which invasion of dust into a process chamber is prevented and the size of an automatic pressure regulator is made small.例文帳に追加

処理室へのゴミの混入を防ぎ、自動圧力調節器を小型化することができる真空処理装置を提供する。 - 特許庁

A fill regulator valve (14) and a vacuum regulator valve (20) are included that are adapted to regulate the supply of positive pressure and negative pressure, and an exhaust valve (16) is included that is operable to exhaust pressure from the outlet.例文帳に追加

正圧及び負圧の供給をそれぞれ調整するようになった充填調整弁（１４）及び真空調整弁（２０）が設けられ、出口からの圧力を排出するよう動作できる排気弁（１６）が設けられている。 - 特許庁