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In addition, the barier layer 134 in a transfer part is formed through ion implantation by which the polysilicon film of the lower-layer transfer electrode 132 is self-aligned, in the horizontal transfer register 130.例文帳に追加
また、水平転送レジスタ１３０では、トランスファ部のバリア層１３４を下層転送電極１３２のポリシリコン膜をセルフアラインとするイオン注入によって形成できる。 - 特許庁
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