butyneとは 意味・読み方・使い方

According to such an operation, plasma is produced in the plasma-producing region R1 and the butyne gas in the film forming region R2 is activated by the plasma, whereby the insulating film of amorphous carbon is formed on the substrate W.例文帳に追加

こうすることにより，プラズマ生成領域Ｒ１にプラズマが生成され，当該プラズマにより成膜領域Ｒ２のブチンガスが活性化されて，基板Ｗ上にアモルファスカーボンの絶縁膜が形成される。 - 特許庁

In an insulating film forming device 32, Ar gas is supplied to a plasma producing region R1 in a processing vessel 50 as gas for producing plasma, while butyne gas having multiple bonds is supplied to a film-producing region R2 of the substrate W side as the material gas.例文帳に追加

絶縁膜形成装置３２において，処理容器５０内のプラズマ生成領域Ｒ１には，プラズマ生成用のガスとしてＡｒガスを供給し，基板Ｗ側の成膜領域Ｒ２には，原料ガスとして多重結合を有するブチンガスを供給する。 - 特許庁