charged defectとは 意味・読み方・使い方

CHARGED PARTICLE BEAM CONTROL DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM OPTICAL DEVICE USING THE SAME, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEFECT CHECKING DEVICE例文帳に追加

荷電粒子ビーム制御装置及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、ならびに荷電粒子ビーム欠陥検査装置 - 特許庁

CHARGED PARTICLE MAPPING/PROJECTING OPTICAL SYSTEM, CHARGED PARTICLE RAY DEFECT INSPECTING DEVICE COMPRISING IT, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED BY THE SAME例文帳に追加

荷電粒子写像投影光学系、該光学系を備える荷電粒子線欠陥検査装置及び該装置により製造された半導体デバイス - 特許庁

A dual charged-particle beam system is automatically navigated to the vicinity of defect location using information from the defect file.例文帳に追加

複式荷電粒子ビームシステムが、欠陥ファイルからの情報を用いて、自動的にその欠陥位置の近傍にナビゲートされる。 - 特許庁

To provide a defect inspection apparatus by which a defect can be inspected with high throughput even when a charged particle beam is used.例文帳に追加

荷電粒子線ビームを用いた場合でも高スループットで欠陥の検査が可能な欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR PHOTOMASK DEFECT CORRECTION USING CHARGED PARTICLE BEAM例文帳に追加

荷電粒子ビームを用いたフォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥修正装置 - 特許庁

The recipe is then automatically executed to cut a portion of the defect using a charged particle beam.例文帳に追加

このレシピが自動的に実行されて、荷電粒子ビームを用いて欠陥部分をカットする。 - 特許庁

The charged particle beam image is then analyzed to characterize the defect.例文帳に追加

そして、その荷電粒子ビーム画像は分析され、欠陥をキャラクタライズする。 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, THIN FILM FORMING METHOD, DEFECT CORRECTING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

荷電粒子ビーム装置、薄膜作製方法、欠陥修正方法及びデバイス作製方法 - 特許庁