coulomb systemとは 意味・読み方・使い方

To provide an electron beam drawing apparatus which can draw at a high speed with a high accuracy by reducing the influence of a coulomb effect in a multiple beam system.例文帳に追加

マルチビーム方式におけるクーロン効果の影響を低減し、高速・高精度な描画を可能にする電子ビーム描画装置を提供する。 - 特許庁

To provide a system identification apparatus capable of identifying Coulomb friction of a motor having a load limited in movable range, and to provide a system identification method thereof.例文帳に追加

可動範囲が限定された負荷の付いた電動機のクーロン摩擦を同定することができるシステム同定装置およびそのシステム同定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a system identification device which can identify the moment of inertia, viscous friction, and Coulomb friction of a motor coupled with a load having a limited movable range in a very small range with high precision, and to provide a motor controller equipped with the system identification device.例文帳に追加

可動範囲が限定された負荷の連結したモータの慣性モーメント、粘性摩擦、クーロン摩擦を、微少範囲で高精度に同定することができるシステム同定装置およびそれを備えたモータ制御装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam lithographic system and an electron beam drawing method for solving the spreading (blurring) of electron beams by Coulomb effect, without drastically decreasing the through put.例文帳に追加

大幅なスループットの低下を招くことなく、クーロン効果による電子ビームの広がり（ボケ）の解決をはかることができる電子線描画装置および描画方法を提供する。 - 特許庁

To correct beam size so as not to cause an error by a Coulomb effect even when a beam current value is large in the charged particle beam exposure of a variable rectangular exposing system.例文帳に追加

可変矩形露光方式の荷電粒子ビーム露光において、ビーム電流値が大きい場合にもクーロン効果に起因する誤差が生じないようにビームサイズ補正を行なえるようにする。 - 特許庁

To provide a method for ionizing atoms and molecules, by discharging a field energy given to a magnet as energy for imparting work to another system from a stationary permanent magnet and deriving a magnetic force that exceeds the Coulomb force for bonding a nucleus to orbital electrons.例文帳に追加

静止した永久磁石から、磁石に蓄えられている磁場エネルギーを他系に仕事を与えるエネルギーとして放出すること、そして核と軌道電子を結合するクーロン力を上回る磁気力を引き出すことにより、磁場内の原子、分子をイオン化する方法。 - 特許庁

By making such a hollow aperture positioned in the cross-over position of a charged particle beam or setting the position in a charged particle beam optical system which is conjugate with the crossover position, the opening angle of the aperture can be limited, and at the same time, coulomb effect can be reduced.例文帳に追加

このようなホローアパーチャを、荷電粒子線のクロスオーバー位置又はクロスオーバーと荷電粒子線光学系において共役な位置に設置することにより、開き角を制限すると共に、クーロン効果を低減することができる。 - 特許庁