cylindrical plasmaとは 意味・読み方・使い方

The plasma generating part 2 is formed by disposing an inside cylindrical electrode in an outside cylindrical electrode on the same axis through an insulating tube.例文帳に追加

プラズマ生成部２は、外側円筒電極内に絶縁管を介して内側円筒電極を同軸上に配設して形成する。 - 特許庁

To provide a cylindrical magnetron sputtering system capable of improving the utilization efficiency of a target by reducing plasma damages in sputtering film deposition.例文帳に追加

スパッタリング成膜においてプラズマダメージを低減させて、ターゲット材の利用効率良くする。 - 特許庁

A large amount of current flows through the plasma 6 between/to electrodes to form a magnetic field, and the magnetic field thus formed compresses the cylindrical plasma 6 in the center axial direction to converge (pinch) the plasma 6 (c).例文帳に追加

すると、プラズマ６を通じて電極間に大電流が流れて磁界を形成し、この磁界が円筒状のプラズマ６を、その中心軸方向に圧縮して収束（ピンチ）する（ｃ）。 - 特許庁

The micro plasma reaction device comprises a cylindrical plasma torch having a plasma torch inner pipe with a plasma gas introducing pipe connected thereto inside a plasma torch outer pipe with a sample gas introducing pipe connected thereto, a high frequency coil for exciting plasma gas provided on the outer circumference in a vicinity of an outlet of the plasma torch inner pipe, and a raw monomer gas feeding means.例文帳に追加

試料ガス導入管が接続されたプラズマトーチ外管の内部にプラズマガス導入管が接続されたプラズマトーチ内管を設けてなる筒状のプラズマトーチ、前記プラズマトーチ内管の出口部近傍の外周に設けられたプラズマガス励起用高周波コイル、および原料モノマーガス供給手段を備えたマイクロプラズマ反応装置。 - 特許庁

To provide a method of simply measuring a plasma state in detail for plasma processing on the cylindrical inside, etc., and a current measuring instrument used therefor.例文帳に追加

円筒状内部等へのプラズマ処理にあたって、簡素にかつ詳細にプラズマ状態を計測する方法とそれに用いる電流計測器を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus wherein deposition of contamination along with implementation of plasma processing can be minimized on the inner surface of a cylindrical vacuum container.例文帳に追加

筒状をなす真空容器の内表面において、プラズマ処理の実施に伴う付着物の堆積を抑制可能なプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

PLASMA REACTOR OVERHEAD SOURCE POWER ELECTRODE WITH LOW ARCING TENDENCY, CYLINDRICAL GAS OUTLETS AND SHAPED SURFACE例文帳に追加

低アーク放電性、円筒形ガスアウトレット及び成形表面を有するプラズマリアクタ・オーバヘッド・ソースパワー電極 - 特許庁

LOW ARC DISCHARGE, CYLINDRICAL GAS OUTLET AND OVERHEAD SOURCE POWER ELECTRODE OF PLASMA REACTOR HAVING MOLDED SURFACE例文帳に追加

低アーク放電性、円筒形ガスアウトレット及び成形表面を有するプラズマリアクタ・オーバーヘッド・ソースパワー電極 - 特許庁