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An etching groove 111a is formed on a silicon substrate 16 by DRIE.例文帳に追加
シリコン基板１６にＤＲＩＥによりエッチング溝１１１ａを形成する。 - 特許庁
The enlarged parts are formed by overetching by a DRIE method.例文帳に追加
このような部分は、ＤＲＩＥ法におけるオーバーエッチングにより形成できる。 - 特許庁
Plural intervals are plural pits obtained by etching an Si substrate with aid of DRIE etching treatment.例文帳に追加
上記複数の間隔は、ＤＲＩＥエッチング処理の補助によってＳｉ基板をエッチングすることによって得られた複数のピットである。 - 特許庁
The masks 53 are made of material with resistance to the DRIE, for example, photoresist, alumina, etc.例文帳に追加
マスク５３はＤＲＩＥに抵抗性のある材料であり、たとえばフォトレジストとかアルミナなどである。 - 特許庁
When ions are applied to a wafer 52 with the face of the wafer directed almost perpendicularly to perform DRIE, individual sliders having the sacrifice extension 32 is cut out in the form of a mask.例文帳に追加
ウエハー５２に対しウエハーの面にほぼ垂直に向けてイオンを当ててＤＲＩＥを行う場合は、犠牲エクステンション３２を持つ個々のスライダーはマスクの形で切り出される。 - 特許庁
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「drie」を含む例文一覧
該当件数 : 9件
The DRIE is executed from the surface 151b side, a remaining silicon substrate 151c is selectively removed by using the rough comb mask pattern 154 as a mask, and a remaining silicon substrate 153c is selectively removed by using the comb electrode mask pattern 152b as a mask.例文帳に追加
面１５１ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５４をマスクにして残存シリコン基板１５１ｃを選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ｂをマスクにして残存シリコン基板１５３ｃを選択的に除去する。 - 特許庁
DRIE (Deep Reactive Ion Etching) is executed from the surface 153b side, the silicon substrate 153 is selectively removed by using the rough comb mask pattern 155 as a mask, and the silicon substrate 151 is selectively removed by using the comb electrode mask pattern 152a as a mask.例文帳に追加
面１５３ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５５をマスクにしてシリコン基板１５３を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ａをマスクにしてシリコン基板１５１を選択的に除去する。 - 特許庁
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