e-dramとは 意味・読み方・使い方

To provide a semiconductor device, having a small area which functions as an e-DRAM which does not have void regions, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

ボイド領域のないｅ−ＤＲＡＭとして機能する小面積の半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device and the manufacturing method of the same, capable of contriving the miniaturization of a contact hole in a logic section and provided with an e-DRAM at high density.例文帳に追加

ロジック部のコンタクホールの微細化が図れ、より高密度化されたｅ−ＤＲＡＭを有する半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

That is, optimal exposures for a logic pattern and a DRAM pattern are averaged for target dimensions, or an optimal exposure amount E of small exposure latitude in a shot is determined through weighting the logic pattern.例文帳に追加

すなわち、ターゲット寸法に対するＬｏｇｉｃパターン、ＤＲＡＭパターンのそれぞれの最適露光量Ｅ_1 、Ｅ_2 の平均をとったり、露光裕度の小さいＬｏｇｉｃパターンに重みを付けてショット内の最適露光量Ｅを決定する。 - 特許庁