exposure chamberとは 意味・読み方・使い方

SEMICONDUCTOR EXPOSURE DEVICE AND LOAD LOCK CHAMBER EMPLOYED THEREFOR例文帳に追加

半導体露光装置、およびそれに用いるロードロックチャンバー - 特許庁

An exposure chamber 1 is evacuated from below a grilled floor face 2a.例文帳に追加

露光室１は、格子状の床面２ａの下から真空引きされる。 - 特許庁

RETICLE-STORING CONTAINER, STORING CHAMBER, RETICLE-CONVEYING FACILITY AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

レチクル収納容器、収納室、レチクル搬送設備、及び露光装置 - 特許庁

A dimension in an exposure direction of one ionization chamber (sensor) layer is thereby adjusted.例文帳に追加

これにより、電離箱（センサー）１層の照射方向寸法を調整する。 - 特許庁

The chamber contains components constituting the exposure device.例文帳に追加

チャンバは、露光装置を構成するコンポーネントを収容する。 - 特許庁

An exposure system is equipped with exposure apparatuses 1, 2 including the exposure units 50, 60 located in the exposure chambers 10, 20, and an alignment measuring apparatus 3 located outside the exposure chamber 10.例文帳に追加

露光システムは、露光チャンバ１０、２０内に配置された露光ユニット５０、６０を含む露光装置１、２と、露光チャンバ１０の外部に配置されたアライメント計測装置３とを備える。 - 特許庁

To reduce a period during which an exposure operation is stopped to exchange a filter for removing impurities from gas in an exposure chamber.例文帳に追加

露光室内の気体から不純物を除去するフィルタの交換に伴う露光処理の停止時間を低減する。 - 特許庁

An exposure mechanism 104 is mounted in the vacuum chamber 102, and the optical system of the exposure mechanism 104 is regulated by using visible light.例文帳に追加

そして、露光機構部１０４を真空チャンバ１０２内に載置し、可視光を使用して露光機構部１０４の光学系の調整を行う。 - 特許庁