gettering effectとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for manufacturing semiconductor device suitable for mass production, without having to increase crystal defects and which is capable of carrying out gettering with better gettering effect.例文帳に追加

結晶欠陥を増大させること無く量産に適し、且つ、ゲッタリング効果の優れたゲッタリングを行うことができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a wafer grinding method capable of maintaining a gettering sink effect and decreasing a metal atom such as copper (Cu) contained in a wafer, assuring flexural strength.例文帳に追加

ゲッタリングシンク(gettering sink)効果を維持するとともに抗折強度を確保しつつウエーハの内部に含有している銅（Cu）等の金属原子を減少させることができるウエーハの研削方法を提供する。 - 特許庁

To have a high proximity gettering effect even in an epitaxial wafer in a method for manufacturing a semiconductor wafer and the semiconductor wafer.例文帳に追加

半導体ウェーハの製造方法及び半導体ウェーハにおいて、エピタキシャルウェーハでも高い近接ゲッタリング効果を有すること。 - 特許庁

Due to this oxidation, hevy metal impurities on the wafer surface are captured by the silicon oxide film, to exhibit gettering effect.例文帳に追加

この酸化により、ウエハ表面の重金属不純物が前記酸化シリコン膜に捕獲され、ゲッタリング効果が得られる。 - 特許庁

Thereby, the crystal defects can be formed in the substrate of SOI ones at the side where the devices are formed, and the sufficient gettering effect can be obtained.例文帳に追加

このため、ＳＯＩ基板のうちデバイスが形成される側の基板に結晶欠陥を形成でき、十分なゲッタリング効果を得ることができる。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a silicon single-crystal wafer that effectively exhibits gettering effect even on a thin film device.例文帳に追加

薄膜デバイスに対してもゲッタリング効果が有効に発揮されるシリコン単結晶ウェーハの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing an epitaxial wafer and the same having a high close gettering effect even in an epitaxial wafer.例文帳に追加

エピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャルウェーハにおいて、エピタキシャルウェーハでも高い近接ゲッタリング効果を有すること。 - 特許庁

To manufacture an epitaxial wafer reduced in epitaxial flaw density and excellent in intrinsic gettering effect.例文帳に追加

エピタキシャル欠陥密度を低減し、優れたＩＧ効果を発揮するエピタキシャルウェーハを製造することができる。 - 特許庁