imprint technologyとは 意味・読み方・使い方

APPLICATION OF BENZOCYCLOBUTENE RESIN TO IMPRINT TECHNOLOGY, AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY THE TECHNOLOGY例文帳に追加

ベンゾシクロブテン樹脂のインプリント技術への適用及び当該技術によるパターン形成方法 - 特許庁

To provide a method for forming a pattern of a benzocyclobutene resin using a thermal imprint lithography technology.例文帳に追加

熱インプリントリソグラフィー技術を用いて、ベンゾシクロブテン樹脂のパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a technology advantageous in measurement accuracy of residual film thickness of a pattern formed on a substrate by an imprint device.例文帳に追加

インプリント装置により基板に形成されたパターンの残膜厚を計測する精度の点で有利な技術を提供する。 - 特許庁

To form a favorable line pattern when microfabricating width dimensions of a line and a space using a sidewall imprint technology.例文帳に追加

側壁転写技術を用いてライン及びスペースの各幅寸法を微細化した場合に、良好なラインパターンを形成する。 - 特許庁

To provide a microfabrication apparatus capable of suppressing a reduction in the throughput in manufacturing a device using a nano-imprint technology.例文帳に追加

ナノインプリント技術を用いたデバイス製造におけるスループットの低下を抑制できる微細加工装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a technology for smoothly performing the alignment between a shot region and a die, and an etching process after imprint process as well.例文帳に追加

ショット領域と型との位置合わせとインプリント処理後のエッチング処理との双方を円滑に行う技術を提供する。 - 特許庁

To provide a technology advantageous for removing foreign matters existing on the substrate holding surface or the mold holding surface in an imprint apparatus.例文帳に追加

インプリント装置において基板保持面またはモールド保持面に存在する異物を除去するために有利な技術を提供する。 - 特許庁