interwireとは 意味・読み方・使い方

INTERWIRE SUPPORTING CONSTRUCTION FOR AERIAL ELECTRIC WIRE例文帳に追加

架空電線の電線間支持構造 - 特許庁

When a wire structure 13 is formed by a dual-damascene method, the interwire insulating film 4 is formed of an inorganic porous insulating material which is a nonthermally volatile insulating material.例文帳に追加

デュアルダマシン法により配線構造１３を形成するに際して、配線間絶縁膜４を非熱揮発的絶縁材料である無機系ポーラス絶縁材料から形成する。 - 特許庁

To enable ashing processing without exerting any adverse influence even if an interwire insulating film made of a low dielectric-constant material is exposed, and to contribute the realization of fine wires complying with recent demands.例文帳に追加

低誘電率材料からなる配線間絶縁膜が露出していても悪影響を及ぼすことなくアッシング処理を行うことを可能とし、近時の要請に対応した微細配線の実現に寄与する。 - 特許庁

To enhance via resolution, and to restrain a via shape from being distorted and shortage from occurring between a via and a via, and the like, without worsening a degree of integration of the vias for interwire connection.例文帳に追加

ビア解像度を向上させ、配線間を接続するビアの集積度を落とすことなく、ビア形状の歪み、ビア−ビア間のショート等を抑制することができる、レチクル、および配線およびビアのレイアウト方法を提供する。 - 特許庁

When a resist pattern 10 and an organic antireflective film 9 are removed by ashing processing, damage is suppressed by using gas of only water or mixed gas containing water as ashing gas even if a portion of the interwire insulating film 4 is exposed.例文帳に追加

レジストパターン１０及び有機反射防止膜９をアッシング処理して除去する際に、配線間絶縁膜４の一部が露出していても、水の単独ガス又は水を含有する混合ガスをアッシングガスとして用いることでダメージを抑止する。 - 特許庁