light charged particleとは 意味・読み方・使い方

To provide a charged particle beam apparatus capable of capturing in three dimensions changes of a sample due to gas atmosphere, light irradiation and heating or the like without exposing to the atmosphere.例文帳に追加

本発明の目的は、大気に曝すことなく、ガス雰囲気，光照射、及び加熱等による試料の変化を三次元で捉えることに関する。 - 特許庁

To generate radiation light from a linear part of a beam line without increasing the beam line of a charged particle accelerator.例文帳に追加

荷電粒子加速器のビームラインを長くすることなく、ビームラインの直線部から放射光を発生することができること。 - 特許庁

To provide a charged particle beam irradiation apparatus allowing acquisition of an accurate shape of an aperture part of a collimator from light irradiated on a subject to be irradiated.例文帳に追加

被照射体に写る光からコリメータの開口部の正確な形状を得ることができる荷電粒子線照射装置を提供する。 - 特許庁

This field effect transistor type charged particle detection device is constituted in this way, to thereby enable to have a small size and the light weight.例文帳に追加

このような電界効果トランジスタ型の帯電粒子検出装置とすることで、小型、軽量とすることができる。 - 特許庁

In the method (2), the cells irradiated with light are irradiated with a charged particle beam and secondary particles generated from the cells are measured.例文帳に追加

の方法では、セルに対して光を照射した状態で、セルに荷電粒子ビームを照射して、セルから発生する二次粒子を測定する。 - 特許庁

An aligner 1 includes a stage for mounting a wafer 31, coated with a resist sensitive for a charged particle beam and a light beam, and a charged particle beam optical system 3 and a light beam optical system 5 for forming a pattern on the wafer 31.例文帳に追加

本発明の露光装置１は、荷電粒子ビーム及び光の両方に感度を有するレジストを塗布したウエハ３１を載置するステージ３５と、同ウエハ上にパターンを形成するための荷電粒子ビーム光学系３及び光光学系５を具備する。 - 特許庁

The storage ring 1 uses an inserting light source 2 instead of a deflecting magnet structured so that a total of deflecting angles of charged particle beam by a structuring magnet may be at a given angle, and a wiggler ring is made to have 360 degrees for a total of the deflecting angles of the charged particle beam of the inserting light source 2.例文帳に追加

構成磁石による荷電粒子ビームの偏向角の合計が所定の角度になるように構成した挿入光源２を偏向磁石の代わりに用いた蓄積リング１であって、挿入光源２の荷電粒子ビームの偏向角の合計が３６０°になるようにしたウィグラリング。 - 特許庁

Furthermore, replacement of a tetrode magnet can be made possible by converging the charged particle beam to a vertical and horizontal directions by an edge focus effect giving a slope to the charged particle beam with an incident surface and an outgoing surface of the charged particle beam in a magnetic field area formed by a structure magnet of the inserting light source.例文帳に追加

さらに、挿入光源の構成磁石が形成する磁場領域における荷電粒子ビームの入射面と出射面が荷電粒子ビームに対して傾斜を持たせてエッジフォーカス効果により荷電粒子ビームを縦横方向に収束させるようにすることにより４極磁石の代替をさせることができる。 - 特許庁