manganese silicideとは 意味・読み方・使い方

To surely suppress diffusion and penetration of copper atoms into a metal silicide film, while using a diffusion barrier layer composed of manganese oxide in the form of a thin film as a diffusion barrier layer between the metal silicide film and a copper contact plug body.例文帳に追加

金属シリサイド膜と銅コンタクトプラグ本体との間の拡散バリア層として、薄膜の酸化マンガンで構成された拡散バリア層を用いてはいるものの、金属シリサイド膜への銅原子の拡散、侵入を確実に抑止することができるようにする。 - 特許庁

The overlaying abrasion-resistant copper-based alloy has a composition comprising, by wt.%, 5.0-20.0% nickel, 0.5-5.0% silicon, 3.0-30.0% manganese, 3.0 to 30.0% of such an element as to form both a Laves phase and a silicide by combining with manganese, and the balance copper with unavoidable impurities.例文帳に追加

肉盛耐摩耗銅基合金は、重量％で、ニッケル：５．０〜２０．０％、シリコン：０．５〜５．０％、マンガン：３．０〜３０．０％、及び、マンガンと結合してラーベス相を形成すると共にシリサイドを形成する元素：３．０〜３０．０％、不可避不純物を含むと共に、残部が銅の組成を有することを特徴とする。 - 特許庁

In the method for forming silicide on a substrate 101 having a surface where silicon and silicon oxide are exposed, the temperature of the substrate 101 is set to be 400°C or more, and a manganese organic compound gas is supplied onto the surface of the substrate 101 where silicon and silicon oxide are exposed, and the silicon exposed to the surface of the substrate 101 is selectively manganese-silicified.例文帳に追加

表面にシリコンとシリコン酸化物とが露出している基板１０１上にシリサイドを形成するシリサイドの形成方法であって、基板１０１の温度を４００℃以上として、シリコンとシリコン酸化物とが露出している基板１０１の表面上にマンガン有機化合物ガスを供給し、基板１０１の表面に露出したシリコンを選択的にマンガンシリサイド化する。 - 特許庁

To provide an inexpensive bulk type manganese silicide single crystal or polycrystal doped with Ga or Sn that is effectively used as a thermoelectric conversion material, an optical sensor, an optical element, etc., expected to have a high performance index at an intermediate temperature of approximately 300 to 600°C, and to provide a method of manufacturing the same in which the manufacture is easily and safely achieved in a short time.例文帳に追加

約３００〜６００℃の中温で高い性能指数が期待できる熱電変換材料や光センサ、光学素子などとして有効利用できる安価なＧａあるいはＳｎでドーピングされたバルク状マンガンシリサイド単結晶体あるいは多結晶体の提供および短時間でしかも安全に容易に製造できる製造方法の提供。 - 特許庁