manipulator of particleとは 意味・読み方・使い方

To provide a manipulator for charged particle beams which implements exchanging work for a probe of manipulator quickly, keeping vacuum.例文帳に追加

真空を保持したままマニピュレータの探針の交換作業が迅速に行える荷電粒子ビーム用マニピュレータを提供する。 - 特許庁

Before fusion part solidifies, a fine motion part of the manipulator 3 is driven and finely control motion to make the particle center position and the target position exactly coextensive.例文帳に追加

溶融部が凝固する前にマニピュレータ３の精動部を駆動して粒子中心位置が正確に目的位置と一致するように微動制御する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam for suppressing variations in magnetic field at manipulator operation and improving an accuracy of pattern formation.例文帳に追加

マニュピレータ作動時の磁場変動を抑え、パターン形成精度を向上させた荷電粒子線露光装置を提供する。 - 特許庁

This apparatus is equipped with a focused ion beam optical system and electron optical system in the same evacuation device and a manipulator, to separate a trace sample, including a desired region of the sample by a charged particle beam molding work and to pick up the separated trace sample, and a manipulator control device for driving the manipulator, independently of a wafer sample board.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するマニピュレータと、該マニピュレータをウェーハ試料台と独立に駆動するマニピュレータ制御装置を備えた。 - 特許庁

This relates to the pick-up method of the minute test piece in charged particle beam device in which a minute test piece and a manipulator are held by a beam assisting deposition film formed by irradiating charged particle beam while supplying a deposition gas, and the minute test piece and the manipulator are separated by removing the beam assisting deposition film by irradiating the charged particle beam while supplying an etching gas.例文帳に追加

本発明は、デポジション用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射して形成されるビームアシスト堆積膜により微細試料とマニピュレータを保持し、エッチング用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射してビームアシスト堆積膜を除去することにより微細試料とマニピュレータを分離することに関する。 - 特許庁

The particle is moved by an X-Y-Z stage and a coarse motion part of the manipulator 3 to make a target coordinates position and the particle center position roughly coextensive and vicinal particles are made to contact.例文帳に追加

目的とする座標位置と粒子中心位置がほぼ一致するようにＸ−Ｙ−Ｚステージとマニピュレータ３の粗動部で粒子を移動し、隣接粒子に接触させる。 - 特許庁

The control device 200 removes some of the plurality of fine adhesive particles provided on the exfoliation sheet 20, by holding it with the manipulator; the manipulator holding the fine adhesive particle is moved to a position of foreign matter, and the foreign matter is stuck to the adhesive particles and removed from the mask 116; and the fine adhesive particles to which the foreign matters are stuck is stuck to the adhesive member 22 and is transferred.例文帳に追加

制御装置２００は、剥離シート２０に設けられた複数の微小吸着粒子のいずれか一つをマニピュレータで保持して離脱させ、微小吸着粒子を保持したマニピュレータを異物の位置へ移動し、異物を粘着性粒子に付着させてマスク１１６から除去し、異物が付着した微小吸着粒子を粘着部材２２に付着させて移送する。 - 特許庁