mask resolutionとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of easily forming a photoresist mask having a resolution higher than the limit resolution determined for each exposure apparatus.例文帳に追加

露光装置に応じて決められた限界解像度よりも高い解像度のフォトレジストマスクを簡便に形成する方法を提供する。 - 特許庁

A phase-shift mask has a checkerboard array and a sub-resolution assist phase pattern surrounding the checkerboard array.例文帳に追加

チェッカーボードアレイ及びこれを囲むサブレゾリューション・アシスト位相パターンを備える位相シフトマスクである。 - 特許庁

When the resolution of a reduction foreground plane 1052 resulting from resolution reduction is raised, a reduction mask 1053 is referred to perform similar interpolation.例文帳に追加

低解像度化された縮小前景プレーン１０５２を高解像度化する場合も、縮小マスク１０５３を参照して同様の補間を行う。 - 特許庁

The spatially varied slow axis imposes a phase mask on the beam of light, which provides sub-resolution optical phase modulation to a resolution spot on the detector.例文帳に追加

空間的に変えられる遅軸は、検出器上の解像度スポットに対して副解像度光位相変調を行う位相マスクを光ビームに課す。 - 特許庁

A high-resolution gray scale mask is obtained, and an inexpensive photomask with high accuracy and high resolution is manufactured and applied to formation of a practical dual damascene structure.例文帳に追加

高分解能グレーマスクを実現し、高精度、高分解能及び低コストのフォトマスクを作製し、それを実用的なデュアルダマシン構造の形成に適用する。 - 特許庁

To provide a resist composition of a chemical amplification type excellent in resolution and a mask error enhancement factor.例文帳に追加

解像度およびマスクエラーエンハンスメントファクターに優れた化学増幅型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a screen mask with high durability which can form a high-resolution thin printing film.例文帳に追加

高い解像度で薄い印刷膜を形成することのできる耐久性の高いスクリーンマスクを提供する。 - 特許庁

To provide a density distribution mask which has a pattern with higher resolution, and accurately control light exposure of low exposure.例文帳に追加

濃度分布マスクのパターンの解像度を高くし、かつ、低露光の露光量を精密に制御する。 - 特許庁