micro defectsとは 意味・読み方・使い方

To block the micro pipe defects in the silicon carbide single crystal substrate but not to block the micro pipe defects in a new growth layer.例文帳に追加

新たな成長層にてマイクロパイプ欠陥を閉塞させるのではなく、炭化珪素単結晶基板に存在しているマイクロパイプ欠陥を閉塞させることができるようにする。 - 特許庁

When forming the recess 3 by wet-etching, a number of micro defects are produced on the etched surface, these micro defects cause strength deterioration of the diaphragm 4.例文帳に追加

凹所３をウエットエッチングにより形成した時、エッチング面には無数の微小欠陥が発生しており、この微小欠陥がダイアフラム４の強度低下を招く。 - 特許庁

To stabilize the quality of an annealed wafer by reliably decreasing SSDs (surface shallow defects which are recessed defects of an extremely wide and shallow shape on the surface), while ensuring generation of void defects other than the SSDs and generation of BMDs (bulk micro defects) indispensable as a gettering source in the bulk.例文帳に追加

アニールウェーハにとって必要不可欠なウェーハ表面におけるＳＳＤ（表面の非常に幅広く、浅い形状の凹状欠陥；Surface Shallow Defect）以外のボイド欠陥の低減や、バルク内のゲッタリング源としてのＢＭＤ（バルク微細欠陥；Bulk micro defect）の生成を保証しつつ、ＳＳＤを確実に低減させるようにして、アニールウェーハの品質を安定させる。 - 特許庁

To provide an article which has uniform micro-structure with fine crystal grains, and which doesn't contain substantially oxides and sulfides, and includes no segregation defects.例文帳に追加

微細結晶粒の均質なミクロ組織を有し、本質的に酸化物、硫化物を含有せず、偏析欠陥を含まない物品。 - 特許庁

At least one of the micro pipe defects opened on the surface of a substrate crystal (namely silicon carbide single crystal) is coated with a coating material 5.例文帳に追加

基板結晶（炭化珪素単結晶）１の表面において開口するマイクロパイプ欠陥の少なくとも一方を被覆材料５で被覆する。 - 特許庁

To provide a silicon wafer having BMD (Bulk Micro-Defects) layers sufficient for gettering while keeping sufficient wafer strength.例文帳に追加

シリコンウェーハにおいて、ウェーハ強度を十分に保ちつつ、ゲッタリングに十分なＢＭＤ層を有すること。 - 特許庁

To correctly detect micro-defects smaller than before in a defect detecting device and method.例文帳に追加

欠陥検出装置及び欠陥検出方法において、従来よりも微小な欠陥を正確に検出できるようにする。 - 特許庁

To provide a pattern defect inspecting device capable of detecting micro defects on a sample with high sensitivity without causing speckle noise in signals.例文帳に追加

試料上の微小欠陥を信号にスペックルノイズを発生すること無く、高感度に検出できるパターン欠陥検査装置を実現する。 - 特許庁