microdefectとは 意味・読み方・使い方

To provide a detecting method for a crystalline defect with high measurement sensitivity in which even a microdefect such as a small BMD formed nearby a wafer surface after a low-temperature process as an advanced device process can be measured.例文帳に追加

先端デバイスプロセスである低温プロセス後のウェーハ表面近傍に形成される小さなＢＭＤなど微小な欠陥であっても測定することができる測定感度の高い結晶欠陥の検出方法を提供する。 - 特許庁

This invention relates to the component for the heat treatment to be used in the heat treatment process of semiconductor wafers, in which bulk microdefect is formed with a density of 10^10 pieces/cm^3 or more.例文帳に追加

本発明にかかる熱処理用部材は、半導体ウエハの熱処理工程において用いられる熱処理用部材であって、前記部材の内部に、バルク微小欠陥が１０^10個／ｃｍ^3以上の密度をもって形成されている。 - 特許庁

To provide a device for inspecting a liquid crystal panel which enables an inspector to visually inspect the liquid crystal panel, offers easy detection of the microdefect of the liquid crystal panel, and can be made small-sized, and also to provide an inspecting method.例文帳に追加

検査者が液晶パネルを目視して検査する検査装置であって、液晶パネルの微小欠陥を容易に検出することができ、小形化することができる液晶パネルの検査装置、および検査方法を提供する。 - 特許庁

The whole flexible pressure-sensitive body 12 is thereby prevented from being not polarized, even when a defective part exists in the flexible pressure-sensitive body 12, and the presence of the microdefect is detected before forming the outer electrode to enhance a yield.例文帳に追加

これによって、可撓性感圧体１２に欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体１２が分極できなくなることを防ぐとともに、外側電極を形成する前に、微小な欠陥が存在することを検知でき、歩留まりの向上をはかることができる。 - 特許庁

To provide a microdefect inspection apparatus for eliminating an enhancement of its optical performance and resolution and detecting microdefects on an inspected object at higher resolution (detecting the microdefects smaller than a focus diameter of an inspecting illumination light).例文帳に追加

微小欠陥検査装置の光学性能及び光学的分解能を上げることなく、従来より高い分解能で検査対象物の微小欠陥を検出する（検査用の照射光の焦点径より微細な欠陥を検出する）微小欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁

To provide a heat-reflective glass on which a film having excellent cost-performance and high durability is formed even with the well-known gas composition having a high transparence, high heat-insulation property, without any spot defect caused by the oxidative coagulation of Ag film nor microdefect caused by dielectric film even after leaving in a hot and humid atmosphere for a long time.例文帳に追加

高可視光透過率および高断熱性を有するとともに高温高湿環境下に長期間放置してもＡg膜が酸化凝集して生じる斑点状の欠陥及び誘電体膜に起因する微少欠陥の発生を抑制し、しかも同じガス組成でも成膜可能なコストパフォーマンスに優れた高耐久性の熱線反射ガラスを得ること。 - 特許庁