mixed plasmaとは 意味・読み方・使い方

The surface of the high-permittivity insulating film 103 is subjected to surface treatment through the use of plasma of a mixed gas of Cl2 and Ar mixed at a mixing ratio 1:1.例文帳に追加

そして、Ｃｌ_2／Ａｒ＝１／１混合ガスによるプラズマで高誘電率絶縁膜１０３の表面処理を行なう。 - 特許庁

The trench is formed, by carrying out plasma etching using mixed gas containing hydrogen bromide and nitrogen from an inductive coupling plasma etching device.例文帳に追加

誘導結合型プラズマエッチング装置から、臭化水素と窒素とを含む混合ガスを用いてプラズマエッチングを行ってトレンチを形成する。 - 特許庁

The method includes changing a plasma frequency to be applied, while not changing a composition ratio of a mixed gas for plasma generation, to sequentially form thin films corresponding to a plasma composition of the plasma frequency.例文帳に追加

プラズマ生成用混合ガスの比率を変化させない状態で、印加されるプラズマ周波数を変更して当該プラズマ周波数のプラズマ組成に対応する薄膜を順次形成する過程を含む構成とした。 - 特許庁

Oxygen gas is mixed at least either in plasma gas passing through a passage 19 for plasma gas or in shield gas passing through a passage 29 for shield gas.例文帳に追加

プラズマガス通路１９を通過するプラズマガス又はシールドガス通路２９を通過するシールドガスの少なくとも一方に、酸素ガスを混入する。 - 特許庁

A mixed gas, where O2 is added to a noble gas, is introduced into the tube 7 as a plasma generating gas 8.例文帳に追加

希ガスにＯ_2を加えた混合気体をプラズマ生成用ガス８として反応管７に導入する。 - 特許庁

The resist pattern 5 is then plasma-treated with a mixed gas composed of Ar, O_2, C_4F_6 to be shaped.例文帳に追加

次に、レジストパターン５をＡｒ，Ｏ_２，Ｃ_４Ｆ_６からなる混合ガスを用いてプラズマ処理して整形する。 - 特許庁

Carbon is mixed into incineration ash and then a mixture thus formed is introduced into a plasma ash melting furnace 6.例文帳に追加

焼却灰に炭素を混合した後この混合物をプラズマ式灰溶融炉６に投入する。 - 特許庁

These formed oxidized films are correctly and easily removed by a reducing reaction or a physical action using hydrogen plasma or hydrogen mixed plasma.例文帳に追加

これら酸化膜を水素プラズマ若しくは水素混成プラズマにより、還元反応あるいは物理作用により、形成酸化膜を正確に且つ簡単に削除する。 - 特許庁